[實用新型]一種硅棒切割用的主輥

有效

• 申請號: 201420605010.3
• 申請日: 2014-10-20
• 公開（公告）號: CN204136256U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 胥大鵬;何江濤;陸建虎;陸敏星;侯衛國;強中飛;李小剛;張鑫;高林;席康成
• 申請（專利權）人: 無錫隆基硅材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

技術領域

本實用新型涉及硅棒加工技術，尤其涉及一種硅棒切割用的主輥。

背景技術

目前，國內的硅片生產大都是采用多線切割技術，多線切割機內設置可升降的晶托和至少兩根主輥，晶托的下方連接硅棒工件，每根主輥的外周圍設有用于定位切割線的凹槽，凹槽內繞置有切割線。切割線為鋼絲時，進行硅棒切割時，晶托帶著硅棒向下進給，高速運轉的主輥帶動鋼絲沿與硅棒進給方向垂直的方向運動，鋼絲攜帶碳化硅砂漿對硅棒進行研磨切割。其中主輥槽距350~355μm，鋼絲直徑120μm±1，硅片厚度200μm±20，碳化硅砂漿的粒徑9.8~10.3μm。生產過程中經常出現下述問題：凹槽的槽寬過大，鋼絲與主輥接觸時容易打滑，出現鋼絲跳線，在硅片上留下鋸痕，影響了硅片的切割質量，降低了硅片的成品率，而且鋼絲使用壽命短，增加了生產成本。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決主輥外周凹槽的槽寬過大，出現切割線跳線，導致在硅片上留下鋸痕，硅片的成品率降低的問題，以及由于切割線跳線導致切割線使用壽命短的問題，提出了一種硅棒切割用的主輥。

為了解決上述問題，本實用新型采用的技術方案如下：

一種硅棒切割用的主輥，包括主輥主體，所述主輥主體外周設有定位切割線的凹槽，其特征在于所述凹槽的槽寬為切割線直徑的1.5~2.5倍。

優選的，所述切割線為鋼絲。

優選的，鋼絲直徑為120μm，槽寬為200μm，槽距為350μm。

優選的，所述凹槽的截面為V型，U型或梯形。

優選的，所述凹槽的截面為V型，所述凹槽的角度范圍為35°~?50°。

本實用新型的有益效果：本實用新型所述的硅棒切割用的主輥，減小了主輥外周凹槽的槽寬，增加了切割線與主輥結合的穩定性，降低了切割線跳線風險，提高了硅片的切割質量，從而提高了硅片的成品率，同時增加了切割線使用壽命，降低了生產成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是現有技術的結構示意圖。

其中，凹槽1，凹槽1’，鋼絲2，主輥主體3。

具體實施方式

結合圖1對本實用新型作進一步說明：一種硅棒切割用的主輥，包括主輥主體3，所述主輥主體3外周設有多個凹槽1，凹槽1內繞置有鋼絲2，為了使鋼絲與主輥結合的穩定性提高，凹槽1的的槽寬為鋼絲直徑的1.5~2.5倍，凹槽的截面為V型或U型時，凹槽的槽寬為V型或U型的底邊，凹槽的截面為梯形時，凹槽的槽寬為梯形的下底.。如圖1所示的凹槽的截面為V型時，鋼絲2直徑為120μm，槽寬為200μm，槽距為350μm。

與圖2所示的現有技術相比，本實用新型中的槽寬減小，使切割線與主輥結合的穩定性提高，降低了切割線跳線的風險，降低了切割線在硅片上留下鋸痕的風險，提高了硅片的成品率，而且增加了切割線使用壽命，降低了生產成本。