[實用新型]一種帶樹脂擋塊的硅棒切割單元有效
| 申請號: | 201420604384.3 | 申請日: | 2014-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN204136255U | 公開(公告)日: | 2015-02-04 |
| 發明(設計)人: | 胥大鵬;何江濤;李斌全;談繼崗;解士超;王亮;楊松;戴璐;鄧君雷;朱俞棟;歐哲舜 | 申請(專利權)人: | 無錫隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 214000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 樹脂 切割 單元 | ||
技術領域
本實用新型屬于硅片切割技術領域,特別是涉及一種帶樹脂擋塊的硅棒切割單元。
背景技術
現有的硅片切割方法是將硅棒和玻璃板、金屬托板依次粘貼在一起,通過切片機的切割線對硅棒進行切割成硅片。該切割方法在每刀切割結束時,硅棒兩端的硅片容易漲開,形成碎片,邊緣(棱面缺損)不良。從而降低了硅片的成品率,也降低了硅棒的利用率。
發明內容
本實用新型目的在于針對現有技術的缺陷提供一種提高硅棒利用率,降低硅棒兩邊漲片現象的帶樹脂擋塊的硅棒切割單元。
本實用新型為實現上述目的,采用如下技術方案:
一種帶樹脂擋塊的硅棒切割單元,其特征在于:包括硅棒、樹脂擋塊、金屬托板和玻璃板;所述金屬托板、玻璃板、硅棒依次粘貼在一起,所述樹脂擋塊粘貼在所述硅棒的兩端。
其進一步特征在于:所述硅棒規格為156?mm×156mm。
所述樹脂擋塊厚度為15-20mm。
優選的:所述樹脂擋塊長×寬×厚為100mm×100mm×15mm。
進一步的:所述金屬托板上設置有用于安裝到機臺上的燕尾鐵。
本實用新型在硅棒兩端各粘接一塊正方形的樹脂檔塊具有下述優點:
1.?可徹底消除硅棒兩端漲片現象。
2.?可有效降低硅棒兩端的碎片,邊緣不良。
3.?使用樹脂材質,易于切割,不會對硅片切割過程產生影響。
附圖說明
圖?1?為本實用新型示意圖。
具體實施方式
如圖1所示一種帶樹脂擋塊的硅棒切割單元,包括硅棒2、樹脂擋塊1、金屬托板3和玻璃板4;所述金屬托板3、玻璃板4、硅棒2依次粘貼在一起,所述樹脂擋塊1粘貼在所述硅棒2的兩端。所述硅棒2規格為156?mm×156mm。所述樹脂擋塊1長×寬×厚為100mm×100mm×15mm。所述金屬托板3上設置有用于安裝到機臺上的燕尾鐵5。
切割前,樹脂擋塊同硅棒一起粘接在玻璃板上,樹脂擋塊緊貼硅棒兩端粘接,切割時,切割線從硅棒向樹脂板延伸2-3mm,即保留樹脂板有12-13mm厚度未進行切割,該部分未切割的樹脂板有足夠的支撐力,可完全消除硅片漲開現象。
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