[實用新型]一種研磨墊調整器

有效

• 申請號: 201420599764.2
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN204149007U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 唐強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種研磨墊調整器，其特征在于，所述研磨墊調整器至少包括：研磨墊調整器手臂，以及藉由多根聯軸連接于所述研磨墊調整器手臂上的多個研磨盤；所述多根聯軸連接有用于分別控制各研磨盤的自轉的第一動力裝置、用于分別控制各研磨盤的升降的第二動力裝置，以及用于控制至少一個研磨盤在所述研磨墊調整器手臂上移動的第三動力裝置。

2.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述研磨盤的數量不少于2個。

3.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：各研磨盤為圓盤狀結構。

4.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述第一動力裝置為旋轉電機。

5.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述聯軸可實現伸展或收縮的伸縮桿。

6.根據權利要求5所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述第二動力裝置為壓縮空氣產生裝置，通過控制通入各聯軸內的氣體的壓強來分別實現各聯軸的伸展或收縮，進一步分別控制各研磨盤的升降。

7.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述第三動力裝置為掃描電機。

8.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述第三動力裝置控制所述研磨盤在所述研磨墊調整器手臂上水平移動。

9.根據權利要求1所述的研磨墊調整器，其特征在于：所述研磨盤與研磨機臺、研磨頭的旋轉方向一致。