[實(shí)用新型]鋁質(zhì)壓環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420597620.3
• 申請(qǐng)日: 2014-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN204088289U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈笑;廖海濤;繆海兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;韓鳳

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種鋁質(zhì)壓環(huán)，用于半導(dǎo)體制造業(yè)中晶片的固定。

背景技術(shù)

鋁質(zhì)壓環(huán)用于壓住晶片固定晶片位置。晶片在腔體中反應(yīng)有時(shí)會(huì)發(fā)生滑動(dòng)，當(dāng)反應(yīng)完后由于滑動(dòng)，會(huì)導(dǎo)致無法將晶片傳送出來。用鋁質(zhì)壓環(huán)將晶片壓住，當(dāng)反應(yīng)完成后就可以順利的將晶片傳送出來。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種鋁質(zhì)壓環(huán)，能夠配合特定腔體，將晶片在反應(yīng)過程中壓住固定。

按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述的鋁質(zhì)壓環(huán)包括鋁環(huán)主體，鋁環(huán)主體的正、反面互相平行，所述鋁環(huán)主體內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部，凹陷部正面的形狀為一個(gè)圓環(huán)，所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)；所述鋁環(huán)主體向外具有六個(gè)延伸部，每個(gè)延伸部上具有一個(gè)螺孔。

所述六個(gè)延伸部圍繞鋁環(huán)主體一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度，所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個(gè)延伸部與鋁環(huán)主體圓心連線的夾角內(nèi)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：當(dāng)晶片在腔體反應(yīng)時(shí)將晶片壓住，防止晶片滑動(dòng)，提高生產(chǎn)效率。采用這種結(jié)構(gòu)節(jié)省材料，節(jié)約生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的主視圖。

圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1，2所示，本實(shí)用新型包括鋁環(huán)主體1，鋁環(huán)主體1的正、反面互相平行，所述鋁環(huán)主體1內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部2，凹陷部2正面的形狀為一個(gè)圓環(huán)，即為鋁質(zhì)壓環(huán)的平邊。所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)。鋁環(huán)主體1的厚度為3.2mm，鋁質(zhì)壓環(huán)的整體厚度為6.3mm。

如圖1所示，所述鋁環(huán)主體1向外具有六個(gè)延伸部3，每個(gè)延伸部3上具有一個(gè)螺孔4。所述六個(gè)延伸部3圍繞鋁環(huán)主體1一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度，所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個(gè)延伸部3與鋁環(huán)主體1圓心連線的夾角內(nèi)。

該鋁質(zhì)壓環(huán)通過螺孔4固定在反應(yīng)腔體的陶瓷環(huán)上，然后晶片的平邊與鋁質(zhì)壓環(huán)的平邊相重疊后將晶片壓住。當(dāng)晶片在腔體反應(yīng)時(shí)防止晶片滑動(dòng)，這樣晶片完成反應(yīng)后就可以順利的從腔體里傳送出來。