[實用新型]一種適用于過濾電子級磷酸的濾料

有效

• 申請號: 201420595433.1
• 申請日: 2014-10-15
• 公開（公告）號: CN204182188U
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 王立平;王國強;耿瑞娟;王東輝;張穎
• 申請（專利權）人: 洛陽盛潔環保科技有限公司
• 主分類號: B01D29/05
• 分類號: B01D29/05;B01D29/58;C01B25/234
• 代理公司: 洛陽市凱旋專利事務所 41112
• 代理人: 符繼超

技術領域

本實用新型涉及濾料技術領域，具體涉及一種一種適用于過濾電子級磷酸的濾料。?

背景技術

電子級磷酸屬高純磷酸，高純磷酸(H₃PO₄)是電子行業使用的一種超高純化學試劑，屬于微電子化學產品之一，目前世界上僅有美國、日本、韓國等少數幾個國家能夠生產。電子級磷酸廣泛應用于超大規模集成電路、大屏幕液晶顯示器等微電子工業，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻，包括：①基片涂膠前的清洗；②光刻過程中的蝕刻及最終去膠；③硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等。近年來，隨著我國微電子和面板產業的高速發展，世界上許多著名IC晶圓代工、半導體封裝以及LED、TFT—LCD企業巨頭在中國大陸投資建廠，電子化學品的需求越來越大?！笆濉逼趩?，我國電子專用超凈高純化學試劑需求量超過1萬t，而國內生產企業僅能提供10％。其中，國內通用型試劑市場今后的年增長率仍將維持在5％?一8％左右，電子化學品市場預計超過80億美元，年增長率近20％?；世界電子化學品產業市場年平均凈增長率為8％?以上。電子級磷酸由于具有優良的性能，已成為電子工業不可缺少的電化學品之一，其需求量正逐年增長。

電子級磷酸的制備關鍵在于控制并達到所要求的堿金屬與重金屬雜質離子的含量和顆粒度。因其有強酸性，傳統的過濾布已不能使用電子級磷酸的技術要求。

發明內容

為了克服背景技術中的不足，本實用新型公開了一種適用于過濾電子級磷酸的濾料。

為了實現所述實用新型目的，本實用新型采用如下技術方案：一種適用于過濾電子級磷酸的濾料，其特征是：包括兩層在PTFE濾布，?所述兩層PTFE濾布上設置圓孔，所述兩層PTFE濾布上圓孔之間設置有PTFE圓形通道，所述PTFE圓形通道的長度為8~12mm，所述PTFE濾布為高縝密基布，所述PTFE濾布的內表面覆有Gore膜，所述PTFE濾布的外表面附有PTFE膜。

本實用新型所述圓形通道為兩個以上。

本實用新型所述有機材料涂層為環氧樹脂。

本實用新型所述有機材料涂層為酚醛樹脂。

由于采用了上述技術方案，本實用新型具有如下有益效果：采用Gore膜對磷酸進行過濾,通過與PTFE濾布的復合使用，代替通常使用的化纖濾布進行過濾,?可以控制微粒要求0.2μm以下，滿足工廠適用于大規模集成電路加工工藝，用于小于0.09-0.20um線寬電路蝕刻。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、PTFE濾布；2、PTFE膜；3、有機材料涂層；4、PTFE圓形通道；5、Gore膜。

具體實施方式

通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內的一切技術改進。

本實用新型提供了一種適用于過濾電子級磷酸的濾料，包括兩層PTFE濾布1，?所述兩層PTFE濾布1上設置圓孔，所述兩層PTFE濾布上圓孔之間設置有PTFE圓形通道4，所述PTFE圓形通道4的長度為8~12mm，所述PTFE濾布1為高縝密基布，所述PTFE濾布1的內表面覆有Gore膜5，所述PTFE濾布的外表面附有PTFE膜2；所述PTFE膜的外表面復合有機材料涂層3。所述有機材料涂層3為環氧樹脂。所述有機材料涂層3為酚醛樹脂。

將本實用新型投入實際的工況使用，經實施證明，本實用新型在連續使用的情況下，可以控制微粒要求0.2μm以下，滿足工廠適用于大規模集成電路加工工藝，用于小于0.09-0.20um線寬電路蝕刻。

本實用新型未詳述部分為現有技術。