[實(shí)用新型]一種帶真空吸盤(pán)的拋光頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420589811.5
• 申請(qǐng)日: 2014-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204135880U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏昕;袁文強(qiáng);謝小柱;胡偉;鐘靜
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B24B41/04
• 分類(lèi)號(hào): B24B41/04;B24B29/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種與旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)重力式研磨拋光機(jī)組合使用的拋光頭，尤其是一種利用真空吸盤(pán)吸附工件、可以調(diào)節(jié)拋光壓力、可以獨(dú)立旋轉(zhuǎn)的拋光頭。

背景技術(shù)

重力式研磨拋光機(jī)的一大優(yōu)點(diǎn)就是能夠使壓力平穩(wěn)均勻分布在工件上，傳統(tǒng)的工件夾持方式是使用一些粘貼性的物質(zhì)，如膠水、可溶性蠟等物質(zhì)將工件粘貼在壓塊底面。粘貼性的物質(zhì)涂于拋光件上時(shí)均勻性很難控制，而使其厚薄不均，會(huì)直接影響到拋光件拋光的全局平坦化。改變工作壓力需要改用不同的壓塊，而重復(fù)粘貼會(huì)帶來(lái)裝夾誤差。粘貼工作和拋光后的處理工作比較復(fù)雜，生產(chǎn)效率低，耗材較多。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于考慮上述問(wèn)題而提供一種能夠繼承重力式拋光機(jī)的壓力平穩(wěn)均勻的優(yōu)點(diǎn)，代替?zhèn)鹘y(tǒng)粘貼工件的方法，能實(shí)現(xiàn)工件全局平坦化，操作簡(jiǎn)單，成本較低，具有較高的生產(chǎn)效率的拋光頭。該拋光頭能通過(guò)真空發(fā)生器產(chǎn)生真空并利用吸盤(pán)吸附工件，可以調(diào)節(jié)作用于工件上的拋光壓力，利用拋光機(jī)上擺臂帶動(dòng)真空吸盤(pán)擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)，并且擺速和轉(zhuǎn)速可調(diào)。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案有兩種：

一、第一種方案：拋光頭是由吸盤(pán)、旋轉(zhuǎn)接頭、真空軟管、真空發(fā)生器串聯(lián)組成。其中所述吸盤(pán)包括盤(pán)面、盤(pán)底、真空管、連接盤(pán)面和盤(pán)底的螺栓、不同質(zhì)量的壓塊，用真空吸盤(pán)吸附工件，利用吸盤(pán)和壓塊的重力為工件提供拋光壓力，拋光機(jī)擺臂帶動(dòng)拋光頭旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng)。

第一種方案的實(shí)用新型進(jìn)一步的設(shè)計(jì)為：真空吸盤(pán)由盤(pán)面、盤(pán)底、真空管、螺栓組成，盤(pán)面和盤(pán)底以螺栓裝配固定連接，真空管和盤(pán)底通過(guò)螺紋固定連接。真空管另一端通過(guò)螺紋與高速旋轉(zhuǎn)接頭固定連接。旋轉(zhuǎn)接頭另一端通過(guò)真空軟管與真空發(fā)生器的吸氣口連接。真空發(fā)生器的進(jìn)氣口通入壓縮空氣，利用伯努利原理在與吸氣口相連的氣路中產(chǎn)生一定的真空，利用拋光工件兩面之間的氣壓差將工件吸附于吸盤(pán)的盤(pán)面上。

第一種方案的實(shí)用新型更進(jìn)一步的設(shè)計(jì)為：盤(pán)面上分布有小孔或者溝槽，均勻分布的小孔或者溝槽通過(guò)盤(pán)面與盤(pán)底組合形成的氣槽與真空管連通。

二、第二種方案：拋光頭也是由吸盤(pán)、旋轉(zhuǎn)接頭、真空軟管、真空發(fā)生器串聯(lián)組成。其中所述吸盤(pán)包括盤(pán)面、盤(pán)底、定位軸、真空管、定位筒、彈簧、調(diào)壓螺母、保持架、限位架、保持架端面環(huán)。吸盤(pán)的盤(pán)面吸附工件，通過(guò)調(diào)壓螺母壓縮彈簧改變作用于工件上的拋光壓力，拋光機(jī)擺臂帶動(dòng)拋光頭旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng)。

第二種方案的實(shí)用新型進(jìn)一步的設(shè)計(jì)為：吸盤(pán)的盤(pán)面和盤(pán)底以螺栓裝配固定連接，盤(pán)底上裝有定位軸，定位軸另一端通過(guò)螺紋與真空管固定連接，真空管另一端通過(guò)螺紋與旋轉(zhuǎn)接頭固定連接。旋轉(zhuǎn)接頭另一端通過(guò)真空軟管與真空發(fā)生器的吸氣口連接。真空發(fā)生器的進(jìn)氣口通入壓縮空氣，利用伯努利原理在與吸氣口相連的氣路中產(chǎn)生一定的真空，利用拋光工件兩面之間的氣壓差將工件吸附于吸盤(pán)的盤(pán)面上。

定位軸和定位筒間隙配合，定位筒和保持架固定連接。定位筒內(nèi)安裝有彈簧，調(diào)壓螺母的旋進(jìn)和旋出導(dǎo)致彈簧的壓縮和恢復(fù)，可以調(diào)整工件的拋光壓力。

盤(pán)底上安裝有限位架，能夠限制盤(pán)底相對(duì)于保持架發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。

第二種方案的實(shí)用新型更進(jìn)一步的設(shè)計(jì)為：盤(pán)面上分布有小孔或者溝槽，均勻分布的小孔或者溝槽通過(guò)盤(pán)面與盤(pán)底組合形成的氣槽與真空管連通。

保持架端面環(huán)是不與拋光液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、耐磨性好、純凈度高的材料。

真空管上有壓力值標(biāo)簽，用于指示調(diào)壓螺母處于該位置是的拋光壓力值。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型能代替?zhèn)鹘y(tǒng)的使用膠水、可溶性蠟等物質(zhì)將工件粘貼在壓塊底面的方法。避免了復(fù)雜的貼片工作和加工后的清洗工作，提高了加工效率，節(jié)省了粘性物質(zhì)和清洗所需的化學(xué)試劑，降低了成本。避免了由于粘性物質(zhì)厚薄不均勻影響全局平坦化效果，壓力平穩(wěn)并且均勻，壓力和轉(zhuǎn)速可以很方便地調(diào)節(jié)，提高了加工精度。方案二中所速的吸盤(pán)可以吸附不規(guī)則形狀的工件，而且能夠矯正工件上下表面的平行度。

附圖說(shuō)明

圖1是方案一中吸盤(pán)的剖視圖。

圖2是方案一中吸盤(pán)的盤(pán)面俯視圖

圖3是方案二中吸盤(pán)的立體圖。

圖4是方案二中吸盤(pán)的剖視圖。

圖5是方案二中吸盤(pán)的立體剖視圖。

圖6是本實(shí)用新型的整體示意圖。