[實用新型]等離子體加熱流化床制備三氯氫硅的裝置

有效

• 申請號: 201420589670.7
• 申請日: 2014-10-14
• 公開（公告）號: CN204138354U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 王東京;趙建;詹水華;盛斌;孫惺惺
• 申請（專利權）人: 江蘇雙良新能源裝備有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭

1.一種等離子體加熱流化床制備三氯氫硅的裝置，其特征在于：所述裝置包括：流化床反應器（10），流化床反應器（10）內設置有熱電阻絲（8），流化床反應器（10）器壁設置有硅粉加料口（11）、溫度測控口（12）和壓力計（9），流化床反應器（10）底部設置有等離子體槍（3）以及氫氣和四氯化硅氣體混合器（6），等離子體槍（3）與等離子熱源體（2）相連，等離子熱源體（2）與等離子電源工作氣體入口（1）相連，氫氣和四氯化硅氣體混合器（6）與氫氣入口（4）和汽化器（14）相連，汽化器（14）上設置有四氯化硅入口（5）、熱媒入口（15）和熱媒出口（16），流化床反應器（10）頂部設置有尾氣出口（13）。

2.根據權利要求1所述的一種等離子體加熱流化床制備三氯氫硅的裝置，其特征在于：所述流化床反應器（10）外設置有保溫層（7）。