[實用新型]限位裝置

有效

• 申請號: 201420588269.1
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN204138823U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 崔東凱;李保華;杜防修;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛
• 申請（專利權）人: 上海超硅半導體有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 金祺

技術領域

本實用新型涉及晶體生長設備技術領域，尤其是涉及一種全自動石英熔化爐中的可調式籽晶頭限位裝置。

背景技術

全自動石英熔化爐通過籽晶夾頭卡住現成的石英棒懸掛在爐體內進行高溫熔化結晶，籽晶夾頭一端連接著籽晶繩通過線輪控制升降。現有的機械限位反應不靈敏，即便籽晶夾頭達到預定上下限位位置還會運動一段距離，容易使籽晶夾頭碰到上爐蓋，或者石英棒碰到坩堝誘發事故，且機械限位要開孔密封容易造成漏點；另外，籽晶腔體采用的對射式光電開關效果也不理想，因為線輪做直線和旋轉復合運動，即便光電開關在軸向位置被阻擋產生信號，但徑向產生的位移過大，達不到理想的控制精度。此外，這兩種傳統的限位裝置上下限位位置很難調節。

發明內容

本實用新型目的是提供一種全自動石英熔化爐中的限位裝置，以解決現有技術所存在上下限位控制精度不夠，限位位置很難調節等技術問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種限位裝置，包括滑動機構、限位機構、套環機構；所述滑動機構包括設置有滑塊的直線滑軌；所述限位機構包括兩個感應式接近開關、墊塊和金屬擋片；所述兩個感應式接近開關分別在墊塊的兩端，由墊塊形成限位位移；相對應于兩個感應式接近開關，所述金屬擋片通過感應柱固定在直線滑軌上；所述套環機構包括帶孔套環，所述帶孔套環內設置有軸承，所述軸承內設置有固定線輪的空間；所述帶孔套環通過折彎桿固定在滑塊上。

作為對本實用新型所述的限位裝置的改進：所述墊塊的兩端分別設置有螺桿，所述兩個螺桿上分別設置有調節塊，所述兩個調節塊上分別設置感應式接近開關，所述兩個感應式接近開關和墊塊之間分別設置有彈簧。

作為對本實用新型所述的限位裝置的進一步改進：所述金屬擋片上設置有長孔；所述金屬擋片由螺栓Ⅰ穿過長孔后固定在感應柱上。

作為對本實用新型所述的限位裝置的進一步改進：所述帶孔套環通過過盈配合與軸承的外圈相互固定，所述軸承的內圈通過過盈配合的形式設置有線輪。

作為對本實用新型所述的限位裝置的進一步改進：所述感應柱和滑塊之間通過焊接固定。

作為對本實用新型所述的限位裝置的進一步改進：所述折彎桿的一端插入滑塊后，通過螺栓Ⅱ固定在滑塊上；所述帶孔套環插入折彎桿的另外一端后，通過螺栓Ⅲ固定在折彎桿的另外一端上。

本實用新型結構具有可以精確的控制上線限位的位置，且可以適當的調節上下限位位置等特點。線輪帶動套環機構來控制滑動機構的直線運動，因只傳遞了軸向直線運動，使得軸向位移的精度顯著提高，感應式接近開關對微量的位移變化反應靈敏高，精確控制上下限位的位置。感應柱開有槽口和金屬擋片可以通過螺栓調節，來改變上下限位位置，此外也可以通過螺桿調節感應式接近開關的位置，來控制上下限位的位置，操作簡便，容易控制。

附圖說明

圖1是本實用新型的主視結構示意圖；

圖2是本實用新型的俯視結構示意圖。

具體實施方式

實施例1、圖1和圖2給出了一種全自動石英熔化爐中的可調式籽晶限位裝置，主要由滑動機構、限位機構、套環機構等組成。

滑動機構包括直線滑軌1和滑塊2，滑塊2設置在直線滑軌1，可以沿著直線滑軌1進行滑動。限位機構包括墊塊16、感應式接近開關8和金屬擋片7。墊塊16的左右兩端分別設置有螺桿9，兩個螺桿9上分別固定有調節塊10，所述兩個調節塊10上分別設置感應式接近開關8，所述兩個感應式接近開關8和墊塊16之間分別設置有彈簧11；通過兩個螺桿9與墊塊16形成限位的位移，而兩個螺桿9與墊塊16之間均為螺紋連接，通過旋轉螺桿9就可以調節限位位移值的大小。相對應于兩個感應式接近開關8設置金屬擋片7，金屬擋片7通過感應柱5固定在滑塊2上，感應柱5與滑塊2之間通過焊接固定；而金屬擋片7上設置有長孔，由螺栓Ⅰ6穿過長孔后，將金屬擋片7由固定在感應柱5上；該金屬擋片7通過長孔可以進行位置的微調。套環機構包括帶孔套環12，帶孔套環12內設置軸承13，帶孔套環12通過過盈配合與軸承13的外圈相互固定，而軸承13的內圈通過過盈配合的形式設置有線輪14；帶孔套環12通過折彎桿4與滑塊2相互固定，折彎桿4的一端插入滑塊2，并通過螺栓Ⅱ3固定在滑塊2上；帶孔套環12插入折彎桿4的另外一端后，通過螺栓Ⅲ15固定在折彎桿4的另外一端上。

在實際使用的時候，直線滑軌1固定在籽晶腔體底板上，墊塊16固定在籽晶腔體側板上，通過兩個感應式接近開關8和金屬擋片7相配合完成限位的功能。

工作時的步驟如下：