[實用新型]精確控溫加熱平臺

有效

• 申請號: 201420587783.3
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN204209247U
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 徐學禮;何金江;呂保國;劉勇;劉紅賓;董亭義
• 申請（專利權）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: B23K3/047
• 分類號: B23K3/047
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 趙郁軍;程鳳儒

技術領域

本實用新型涉及一種加熱裝置，特別是涉及一種應用于制造靶材組件的精確控溫平臺。

背景技術

靶材組件一般由靶材和背板連接而成，二者的連接方式包括釬焊、擴散焊接、機械復合等幾種，其中，釬焊是將靶材與背板放置于加熱平臺上，通過加熱平臺對二者進行加熱，到達預設溫度后，涂覆焊料將二者復合，然后冷卻至室溫即可。在此過程中，加熱平臺對于溫度的控制以及整個平臺面的溫度均勻性，將會直接影響到靶材組件的質量和性能。

現有的加熱平臺臺面尺寸一般在1米左右，受尺寸的限制，其無法焊接尺寸長達2米甚至3米的TFT-LCD靶材組件和太陽能靶材組件，若簡單的將臺面尺寸擴大至1米以上，會出現溫度控制不準確、臺面溫度不均勻的問題；臺面溫度控制不準確會出現靶材的某些部位溫度尚未到達焊接溫度，而某些部位已經超過靶材所能承受的最高溫度，進而造成靶材組織變化，影響濺射成膜性能，臺面溫度不均勻會使靶材的不同部位受熱不同，應力分布差別較大，焊接后靶材組件產生嚴重變形的問題。

實用新型內容

鑒于上述原因，本實用新型的目的在于提供一種精確控溫加熱平臺，該加熱平臺的臺面尺寸可根據靶材組件的尺寸進行配置，且無論配置的臺面尺寸大小均可實現加熱平臺的精確控溫，并保持臺面溫度的均勻性。

為實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

精確控溫加熱平臺，包括架體、臺面、隔熱層、加熱管、第一控溫儀及第二控溫儀；

該架體上從下到上依次架設有該隔熱層和該臺面，該隔熱層上交替、平行、等距的鋪設有若干加熱管，且每根加熱管與該臺面之間相距一安全距離；

在該隔熱層上的每個加熱區域之內設置該第一控溫儀的熱電偶；該臺面上與該第一控溫儀的熱電偶相對應的位置設置第二控溫儀的熱電偶。

進一步的，

在所述隔熱層上的每個加熱區域的中間位置設置所述第一控溫儀的熱電偶，所述第二控溫儀的熱電偶設于所述臺面上開有的通孔內，所述第一控溫儀的熱電偶與所述第二控溫儀的熱電偶位于同一橫截面上。

所述每根加熱管到所述臺面的安全距離相等，所述安全距離在10mm～50mm之間。

所述第一控溫儀及第二控溫儀通過導線連接，所述第二控溫儀的熱電偶感測的臺面溫度經所述第二控溫儀及導線傳輸給所述第一控溫儀，所述第一控溫儀根據該臺面溫度對所述加熱管的溫度進行控制。

所述臺面的三個側邊圍構擋板，另外一側邊延伸出所述架體一定長度，并在延伸出的側邊底部邊緣處設有凹槽。

所述臺面由鑄鐵制成，所述臺面的厚度為50mm～100mm之間。

所述加熱管采用U型加熱管，該U型加熱管的接線端折彎向下布置于所述架體下方。

所述臺面上每一米的距離之內為一個加熱區域。

所述隔熱層選用石棉、巖棉或者陶瓷纖維棉等隔熱耐火材料。

所述架體的支撐腳上設有調節螺栓。

本實用新型的優點在于：

本實用新型的精確控溫加熱平臺，臺面尺寸能夠根據靶材組件的尺寸進行配置，且無論配置的臺面尺寸大小，都能夠精確控制臺面溫度，并保持臺面溫度的均勻性；同時，加熱管和臺面不相接觸，臺面的一側底緣設有用于容置回流焊料的凹槽，加熱管接線端設于架體下方等結構，均可保證操作人員的人身安全。

附圖說明

圖1是本實用新型的加熱平臺的立體分解示意圖。

圖2為本實用新型的加熱平臺局部示意圖。

圖3為本實用新型的加熱平臺的側視圖。

圖4為本實用新型的加熱平臺的部分臺面的透視圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1是本實用新型的加熱平臺的立體分解示意圖。圖3為本實用新型的加熱平臺的側視圖。如圖所示，本實用新型公開的精確控溫加熱平臺，包括架體1、臺面3、隔熱層2、若干加熱管4、第一控溫儀及第二控溫儀；

架體1上從下到上依次架設有隔熱層2和臺面3，隔熱層2和臺面3之間設有用于容置加熱管4的容置空間，每根加熱管4到臺面3的距離相等，優選距離在10mm～50mm之間。