[實(shí)用新型]曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420586851.4
• 申請(qǐng)日: 2014-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN204143154U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周坤麟;何立克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 敘豐企業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;F21V14/02
• 代理公司: 北京市浩天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11276
• 代理人: 宋菲;劉云貴

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種可隨時(shí)檢測(cè)并調(diào)整曝光機(jī)的多個(gè)光源的照射強(qiáng)度至均勻，以提升曝光機(jī)曝光成品的合格率的曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

現(xiàn)今電子設(shè)備的種類眾多，而電路板是電子設(shè)備中重要的組件之一，曝光機(jī)為目前制作電路板的主要設(shè)備之一，其主要利用曝光的方式在電路板上制作電路。一般的曝光機(jī)多以多個(gè)光源進(jìn)行曝光，然而，這些光源經(jīng)過多次使用后，各個(gè)光源常會(huì)因自身使用壽命的關(guān)系而造成照射強(qiáng)度減弱，使得所有光源的照射強(qiáng)度分布不均，進(jìn)而降低了電路板制作的合格率。因此，如何研發(fā)出一種曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，以使其可隨時(shí)檢測(cè)并調(diào)整曝光機(jī)的多個(gè)光源的照射強(qiáng)度至均勻，以提升曝光機(jī)曝光成品的合格率，將是本實(shí)用新型所欲積極揭露之處。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)之缺憾，發(fā)明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，進(jìn)而研發(fā)出一種曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，以期達(dá)到可隨時(shí)檢測(cè)并調(diào)整曝光機(jī)的多個(gè)光源的照射強(qiáng)度至均勻，以提升曝光機(jī)曝光成品的合格率的目的。

為達(dá)上述目的及其他目的，本實(shí)用新型提供一種曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其包含光傳感器，感測(cè)曝光機(jī)的多個(gè)光源的照射強(qiáng)度；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該光傳感器設(shè)置于該移動(dòng)機(jī)構(gòu)以相對(duì)于這些光源移動(dòng)；以及照射強(qiáng)度調(diào)整單元，其具有處理單元及存儲(chǔ)單元，該光傳感器、該移動(dòng)機(jī)構(gòu)及該存儲(chǔ)單元電連接該處理單元，該處理單元電連接這些光源，該存儲(chǔ)單元儲(chǔ)存這些光源的位置及照射強(qiáng)度值，該處理單元借由這些照射強(qiáng)度值調(diào)整這些光源的照射強(qiáng)度至均勻。

上述的曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)中，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)為曝光機(jī)的感光基板搬移機(jī)臺(tái)。

上述的曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)中，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有相互連接的第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)及第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)及該第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

上述的曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)中，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)及第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)及該第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)用以設(shè)置并移動(dòng)這些光源。

借此，本實(shí)用新型的曝光機(jī)光源照射強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)可隨時(shí)檢測(cè)并調(diào)整曝光機(jī)的多個(gè)光源的照射強(qiáng)度至均勻，以提升曝光機(jī)曝光成品的合格率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的示意圖一。

圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的示意圖二。

圖3為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的示意圖三。

主要部件附圖標(biāo)記：

1????????????????光傳感器

2????????????????移動(dòng)機(jī)構(gòu)

23???????????????吸盤

2’??????????????移動(dòng)機(jī)構(gòu)

21’?????????????第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)

211’????????????連接件

22’?????????????第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)

2”??????????????移動(dòng)機(jī)構(gòu)

21”?????????????第一維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)

211”????????????連接件

22”?????????????第二維度移動(dòng)機(jī)構(gòu)

3????????????????照射強(qiáng)度調(diào)整單元

31???????????????處理單元

32???????????????存儲(chǔ)單元

9????????????????光源平臺(tái)

91???????????????光源

具體實(shí)施方式

為充分了解本實(shí)用新型的目的、特征及技術(shù)效果，茲由下述具體實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)說明，說明如下：