[實用新型]微波器件可靠性測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420586805.4
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN204142865U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設計）人: 李亮;默江輝;崔玉興;付興昌;蔡樹軍;楊克武
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 石家莊國為知識產(chǎn)權事務所 13120
• 代理人: 陸林生

技術領域

本實用新型涉及測量電變量的裝置技術領域，尤其涉及一種微波器件可靠性測試裝置。

背景技術

基于半導體材料可制作微波器件，為了驗證微波器件的可靠性，需要開展高溫反偏、功率老煉等試驗，試驗過程中經(jīng)常發(fā)現(xiàn)器件存在自激的現(xiàn)象，自激容易造成器件工作不穩(wěn)定，甚至燒毀。同時在可靠性試驗前后的測試過程中，自激現(xiàn)象的存在會導致試驗結果不準確。

微波器件是實現(xiàn)對微波信號進行放大的器件，在進行可靠性試驗時，需要對器件施加一定的直流工作電壓，例如8V、28V、36V等，直流工作電壓由直流電源提供，由于供電線路及電源內(nèi)部電路的影響，電源輸出電壓不穩(wěn)定，同時由于電源與器件之間的連接線路存在寄生電容及電感，會產(chǎn)生雜波、過沖等現(xiàn)象，雜波、過沖的存在容易造成器件自激，表現(xiàn)為工作電壓不穩(wěn)定，忽高忽低，工作電流不穩(wěn)定，忽高忽低，容易造成器件燒毀，導致試驗結果不準確。通常，采用在器件外圍增加穩(wěn)定電路的方法消除自激，外圍電路包括濾波電容。此種方法無法從根本上消除器件自激現(xiàn)象。同時，由于器件外圍電路不能夠承受高溫，此種方法無法應用于高溫加速壽命試驗。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種微波器件可靠性測試裝置及其測試方法，在進行微波器件可靠性測試時，將所述裝置連接入微波器件，成功消除了微波器件可靠性測試過程中的自激現(xiàn)象，同時由于采用了燒結工藝及芯片濾波電容，保證微波器件可工作在高溫狀態(tài)，可開展高溫加速壽命試驗。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種微波器件可靠性測試裝置，其特征在于：所述裝置包括管殼、第一濾波電容和第二濾波電容，所述第一濾波電容和第二濾波電容位于所述管殼內(nèi)，管殼外設有管殼輸入端子和管殼輸出端子，所述第一濾波電容和第二濾波電容的一端與所述管殼輸入端子連接，微波器件管芯的一端與管殼輸入端子連接，微波器件管芯的另一端與管殼輸出端子連接。

進一步優(yōu)選的技術方案在于：所述第一濾波電容容值為10pF，第二濾波電容容值為100pF。

采用上述技術方案所產(chǎn)生的有益效果在于：在進行微波器件可靠性測試時，將所述裝置連接入微波器件，所述裝置通過在微波器件的管殼內(nèi)引入芯片電容，成功消除了微波器件在可靠性試驗中存在的自激現(xiàn)象，保證微波器件穩(wěn)定工作，保證了可靠性試驗結果的準確性，該方法成本低，易實現(xiàn)，保證了相關科研生產(chǎn)順利進行。?

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1是本實用新型所述裝置的結構示意圖；

其中：1、管殼?2、第一濾波電容?3、第二濾波電容?4、管殼輸入端子?5、管殼輸出端子?6、微波器件管芯。

具體實施方式

下面結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。

如圖1所示，本實用新型公開了一種微波器件可靠性測試裝置，所述裝置包括管殼1、第一濾波電容2和第二濾波電容3。所述第一濾波電容2和第二濾波電容3位于所述管殼1內(nèi)，管殼1外設有管殼輸入端子4和管殼輸出端子5，所述第一濾波電容2和第二濾波電容3的一端與所述管殼輸入端子4連接，微波器件管芯6的一端與管殼輸入端子4連接，微波器件管芯6的另一端與管殼輸出端子5連接，在進行下述所述的測試方法時，需要將上述裝置連接入需要測試的微波器件。

本實用新型還公開了一種消除微波器件可靠性測試器件自激的方法，在本實施例中，微波器件及試驗描述：1）柵寬：1.25mm；2）試驗名稱：可靠性測試；3）試驗條件：電壓28V，電流200mA，結溫300度，殼溫235度，應用于GaN?HEMT?可靠性測試中，包括如下步驟：

1）選擇微波器件的濾波電容，第一濾波電容容值為10pF，第二濾波電容容值為100pF；

2）將上述兩個濾波電容燒結在管殼內(nèi)；

3）將管芯燒結在管殼內(nèi)；

4）濾波電容鍵合在管殼輸入端子上；

5）管芯鍵合在管殼輸入端子及管殼輸出端子上；