[實用新型]發熱體及氫化爐有效
| 申請號: | 201420578304.1 | 申請日: | 2014-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN204125179U | 公開(公告)日: | 2015-01-28 |
| 發明(設計)人: | 李亮;丑紀能;劉英;楊澤天 | 申請(專利權)人: | 新疆大全新能源有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址: | 832000 新疆維吾爾自治*** | 國省代碼: | 新疆;65 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 發熱 氫化 | ||
技術領域
本實用新型涉及多晶硅生產技術領域,特別是涉及一種用于氫化爐中的發熱體及氫化爐。
背景技術
在生產多晶硅的生產技術中,改良西門子法為主要的生產方法。在生產多晶硅棒的過程中,將四氯化硅(SiCl4)氣體和氫氣(H2)按一定比例混合后通往氫化爐,位于氫化爐內的石墨發熱體在在通電后產生熱能,在爐內溫度達1200~1250℃時,四氯化硅和氫氣會發生以下反應:SiCl4+H2=SiHCl3+HCl。
其中,石墨發熱體由于本身材質的物理性質,在加工長度較長的石墨發熱體時,所需的費用較高。為了節省成本,在加工制造石墨發熱體時,石墨發熱體一般為分段式,采用上段發熱棒與下段發熱棒分段制造。上段發熱棒的一端與下段發熱棒的一端上均開有內螺紋孔,將上段發熱棒的一端的內螺紋孔與下段發熱棒的一端的內螺紋孔通過一雙頭螺栓連接,以將上段發熱棒與下段發熱棒連接固定。
上述的分段制造方法雖然節省了成本,發明人發現:位于上段發熱棒與下段發熱棒的連接處的強度較低,導致了:
1、石墨發熱體的上段發熱棒與下段發熱棒的連接處很容易折斷,造成了不必要的損失。
2、在設備運轉時,石墨發熱體的上段發熱棒與下段發熱棒的連接處在受到氣流的沖擊下很容易折斷或產生裂紋,降低了石墨發熱體的壽命、增加了生產的成本。
3、在設備運轉時,石墨發熱體能夠承受的氣流壓力、流量有限,對于氫化爐的生產能力受到了約束,無法增加氣流流量,導致降低了氫化爐的生產效率。
實用新型內容
有鑒于此,本實用新型提供一種發熱體及氫化爐,主要目的在于提高分段式發熱體連接處的強度。
為達到上述目的,本實用新型主要提供如下技術方案:
一方面。本實用新型的實施例提供一種發熱體,包括:相對設置的兩個發熱棒以及連接相對設置的兩個發熱棒的連接梁,所述至少一個發熱棒包括:
第一段發熱棒、第二段發熱棒以及第一固定護套。其中,
所述第二段發熱棒的另一端為用于與電極連接的連接端。
所述第一段發熱棒的另一端與所述連接梁連接。
所述第一段發熱棒的一端與所述第二段發熱棒的一端連接,所述第一固定護套套設在所述第一段發熱棒與所述第二段發熱棒上,位于所述第一段發熱棒的一端與所述第二段發熱棒的一端的連接處。
本實用新型的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。
可選的,前述的發熱體,其中所述第一固定護套的內壁上設有第一內螺紋。
所述第一段發熱棒的一端設有與所述第一固定護套的第一內螺紋配合的第一外螺紋。
所述第二段發熱棒的一端設有與所述第一固定護套的第一內螺紋配合的第二外螺紋。
所述第一外螺紋與所述第二外螺紋分別鎖定在所述第一內螺紋內。
可選的,前述的發熱體,其中所述第二段發熱棒一端的直徑值為D1。
所述第二段發熱棒另一端的直徑值為D2。
D2>D1。
可選的,前述的發熱體,其中還包括:
第二固定護套。
所述第二固定護套的內壁上設有第二內螺紋。
所述二段發熱棒的另一端設有與所述第二固定護套的第二內螺紋配合的第三外螺紋。
所述第三外螺紋從所述第二固定護套的第二內螺紋一端鎖定在所述第二內螺紋內。
所述第二固定護套的第二內螺紋另一端用于與所述電極的螺紋柱鎖定。
可選的,前述的發熱體,其中連接的所述第一段發熱棒與所述第二段發熱棒的總高度在2.1m~2.3m之間。
所述第一段發熱棒與所述第二段發熱棒的直徑在45mm~60mm之間。
可選的,前述的發熱體,其中所述第一固定護套的長度在8~10cm。
可選的,前述的發熱體,其中所述發熱棒為實心石墨發熱棒或空心石墨發熱棒。
另一方面,本實用新型的實施例提供一種氫化爐包括:
發熱體以及爐體。
所述發熱體包括:相對設置的兩個發熱棒以及連接相對設置的兩個發熱棒的連接梁,
其中所述至少一個發熱棒包括:第一段發熱棒、第二段發熱棒以及第一固定護套。其中,
所述第二段發熱棒的另一端為用于與電極連接的連接端。
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