[實用新型]一種用于切割晶片的線鋸機

有效

• 申請號: 201420578128.1
• 申請日: 2014-10-08
• 公開（公告）號: CN204160644U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 戚林
• 申請（專利權）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259
• 代理人: 張玉平

技術領域

本實用新型涉及到一種線鋸機，尤其涉及到一種半導體行業中用于切割晶片的線鋸機。

背景技術

目前的線鋸機，其結構包括：機架以及活動設置在機架上的收線裝置、放線裝置、導線裝置以及水平布置的主、從動輥和驅動主動輥旋轉的主動輥驅動裝置，主、從動輥的輥面上設置有相互配合的等螺距的螺旋導向槽，切割線由放線裝置送出，經過導線裝置中的導入機構后纏繞在主、從動輥的螺旋導向槽上，然后經由導線裝置中的導出機構后收卷在收線裝置上；在主、從動輥的上方設置有用于冷卻的潤滑切割線的冷卻潤滑機構。這種雙輥結構的線鋸機，切割線纏繞在主、從動輥上之后，形成上、下切割線層，在使用過程中，只有下切割線層才真正起切割作用，而且晶體在切割過程中不能碰到上切割線層，這樣就使得所能切割晶體的直徑受到限制，必須小于主、從動輥的直徑，使得該線鋸機的加工范圍較小。此外，眾所周知，冷卻潤滑機構最終所要冷卻潤滑的是下切割線層，但是，由于冷卻潤滑機構安裝在主、從動輥的上方即上切割線層的上方，冷卻潤滑劑受到上切割線層的阻擋，影響了對下切割線層的冷卻潤滑效果。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種使待切割晶體的直徑與主、從動輥無關、并可提高冷卻潤滑效果的用于切割晶片的線鋸機。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：一種用于切割晶片的線鋸機，包括：機架以及活動設置在機架上的主動輥、收線裝置、放線裝置、導線裝置和驅動主動輥旋轉的主動輥驅動裝置，主動輥的輥面上設置有等螺距的螺旋導向槽，所述的機架上在主動輥的下方還活動設置有一對從動輥，機架上在主動輥與這一對從動輥之間設置有冷卻潤滑過濾裝置，這一對從動輥的輥面上分別設置有若干道與主動輥上的螺旋導向槽相對應的環形導向槽，這一對從動輥輥面上相對應的環形導向槽的中心線位于同一垂直平面上，相鄰環形導向槽之間的間距與所述主動輥上的螺旋導向槽的螺距相等，所述的冷卻潤滑過濾機構包括：過濾網，所述的機架上設置有沿著主動輥的軸向布置的一對定位管和至少一根噴淋管，這至少一根噴淋管位于所述的一對定位管之間，噴淋管的下部設置有若干個噴淋孔，定位管上沿著軸向即定位管的長度方向開設有寬度大于過濾網厚度的掛接槽，所述過濾網的兩端設置有與定位管上的掛接槽相配合的定位條，使得定位條穿設在相應的定位管中不掉出。

作為一種優選方案，在所述的用于切割晶片的線鋸機中，所述的噴淋管至少有三根，以所述的一對從動輥之間的中分線為軸對稱線對稱布置。

作為一種優選方案，在所述的用于切割晶片的線鋸機中，所述的噴淋管上以噴淋管的底線為軸對稱線對稱設置有至少三排軸向布置的噴淋孔。

作為一種優選方案，在所述的用于切割晶片的線鋸機中，所述過濾網的橫截面呈“U”形。

作為一種優選方案，在所述的用于切割晶片的線鋸機中，所述的一對從動輥對稱布置在主動輥的兩側下方，使得主動輥與這一對從動輥形成等腰三角形布置。

本實用新型的有益效果是：由于本實用新型采用三輥結構即一根主動輥和兩根從動輥，形成在主、從動輥的輥面上的側切割線層對所要切割晶體的尺寸沒有影響，從而大大拓寬了所述線鋸機的加工范圍；此外，由于冷卻潤滑機構以設置在主動輥和一對從動輥之間，直接對下切割線層進行冷卻和潤滑，大大提高了冷卻潤滑效果。另外，通過設置多根噴淋管和設置在多排噴淋孔，進一步提高了冷卻潤滑效果；橫截面呈“U”形的過濾網，使得冷卻潤滑劑更為集中地對下切割線層進行冷卻潤滑，更進一步提高冷卻潤滑效果。

附圖說明

圖1是本實用新型所述線鋸機的局部剖視結構示意圖。

圖2是圖1中A部分的放大結構示意圖。

圖1至圖2中的附圖標記為：1、主動輥，2、左從動輥，3、右從動輥，4、過濾網，41、過濾孔，42、定位條，5、定位管，51、掛接槽，6、噴淋管，61、噴淋孔，7、導入輪，8、導出輪，9、切割線。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細描述本實用新型所述的一種用于切割晶片的線鋸機的具體實施方案：