[實用新型]一種切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構

有效

• 申請號: 201420577692.1
• 申請日: 2014-10-08
• 公開（公告）號: CN204136254U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 戚林
• 申請（專利權）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259
• 代理人: 張玉平

技術領域

本實用新型涉及到一種線鋸機，尤其涉及到一種半導體行業中切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構。

背景技術

目前的線鋸機，其切割線的繞行結構包括：機架以及活動設置在機架上的水平布置的主、從動輥，主、從動輥的輥面上設置有相互配合的等螺距的螺旋導向槽，所述的機架上還活動設置有與主動輥輥面上的相應螺旋導向槽相配合的導入輪、以及與從動輥輥面上的相應螺旋導向槽相配合的導出輪。在實際應用過程中，切割線由線鋸機的放線裝置送出，經過導入輪后，纏繞在主、從動輥的螺旋導向槽上，然后由導出輪導出，最后收卷在線鋸機的收線裝置上。這種切割線的繞行結構，使得切割線纏繞在主、從動輥上之后，形成上、下切割線層，在使用過程中，只有下切割線層才真正起切割作用，而且，晶體在切割過程中不能碰到上切割線層，這樣就使得所能切割晶體的直徑受到限制，必須小于主、從動輥的直徑，使得該線鋸機的加工范圍較小。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種使待切割晶體的直徑與主、從動輥無關的切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：一種切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構，包括：機架以及活動設置在機架上的主動輥，主動輥的輥面上設置有等螺距的螺旋導向槽，所述的機架上還活動設置有與主動輥輥面上的相應螺旋導向槽相配合的導入輪，機架上在所述主動輥的下方還活動設置有一對與主動輥相平行的從動輥，這一對從動輥的輥面上分別設置有若干道與主動輥上的螺旋導向槽相對應的環形導向槽，所述的機架上還活動設置有與其中一個從動輥輥面上的相應環形導向槽相配合的導出輪，這一對從動輥上相對應的環形導向槽的中心線位于同一垂直平面上，相鄰環形導向槽之間的間距與所述主動輥上的螺旋導向槽的螺距相等，所述環形導向槽的至少一側側壁上設置有導向錐面；

設：主動輥的直徑為D1，螺旋導向槽的螺距為S，從動輥的直徑為D2，導向錐面的錐度角為α，環形導向槽的深度為H，環形導向槽的寬度即其底壁的寬度為W，則：

α≤Arctan{(H×D1)÷[(D2-H)×S]}；長度單位為毫米。

作為一種優選方案，在所述切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構中，所述的一對從動輥對稱布置在主動輥的兩側下方，使得主動輥與這一對從動輥形成等腰三角形布置。

本實用新型的有益效果是：由于本實用新型采用三輥結構即一根主動輥和兩根從動輥，形成在主、從動輥的輥面上的側切割線層對所要切割晶體的尺寸沒有限制，從而大大拓寬了所述線鋸機的加工范圍；同時，由于構成下切割線層的各段切割線在切割過程中始終位于待割切晶體的相應橫切面中，從而大大提高了切割精度。

附圖說明

圖1是本實用新型所述切割線的繞行結構示意圖。

圖2是圖1中主動輥的右視方向結構示意圖。

圖3是圖1中從動輥的右視方向結構示意圖。

圖4是圖1中A部分的放大結構示意圖。

圖5是圖3中B部分的放大結構示意圖。

圖1至圖5中的附圖標記：1、主動輥，11、螺旋導向槽，2、從動輥，21、環形導向槽，211、導向錐面，4、過濾網，41、過濾孔，42、定位條，5、定位管，51、掛接槽，6、噴淋管，61、噴淋孔，7、導入輪，8、導出輪，9、切割線。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細描述本實用新型所述的一種切割晶片用線鋸機中切割線的繞行結構的具體實施方案：