[實用新型]晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置

有效

• 申請號: 201420576267.0
• 申請日: 2014-09-30
• 公開（公告）號: CN204086398U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 王雪松;李嘉亮;楊振英;崇鋒;呂欣
• 申請（專利權）人: 黃河水電光伏產業技術有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，包括：

樣品臺(100)，用于放置樣品(500)；

立柱(200)，位于所述樣品臺(100)的一側；

探針進給裝置(300)，安裝于所述立柱(200)上，位于所述樣品臺(100)的上方；

探針安裝板(400)，與所述探針進給裝置(300)連接，安裝有若干用于檢測樣品(500)接觸電阻的探針(410)；

其中，所述探針進給裝置(300)內部設置有用于控制所述探針安裝板(400)上下移動的探針壓力控制系統(310)。

2.根據權利要求1所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述探針壓力控制系統(310)至少設有活塞、氣缸和連桿(311)，所述連桿(311)用于連接所述探針安裝板(400)。

3.根據權利要求2所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述氣缸、活塞、連桿(311)以及探針安裝板(400)均位于所述樣品臺(100)的上方。

4.根據權利要求1所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述樣品臺(100)上設有若干用于固定樣品的真空吸盤(110)，樣品臺的內部設有用于控制所述真空吸盤(110)的真空系統，樣品臺的側壁上還設有連接真空系統的氣管(120)。

5.根據權利要求4所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述真空系統通過所述氣管(120)連接外部真空泵。

6.根據權利要求1所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述立柱(200)與所述樣品臺(100)為一體式結構。

7.根據權利要求1所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述探針安裝板(400)上設有若干探針安裝孔(420)。

8.根據權利要求1所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，每個探針(410)連線分別連接有一條激勵線(411)和一條檢測線(412)，每兩個探針(410)用于檢測一樣品(500)，該兩個探針(410)的激勵線(411)與一電壓測試裝置(440)連接，構成一測試回路；該兩個探針(410)的檢測線(412)與一電流測試裝置(430)連接，構成另一測試回路。

9.根據權利要求1-8任一所述的晶體硅太陽電池正面電極接觸電阻測量裝置，其特征在于，所述探針進給裝置(300)還設有沿所述樣品臺(100)平面運動的進給系統。