[實用新型]用于感測過程流體的差壓的差壓傳感器有效
| 申請號： | 201420569674.9 | 申請日： | 2014-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN204188328U | 公開（公告）日： | 2015-03-04 |
| 發明（設計）人： | 查爾斯·雷·威爾科克斯 | 申請（專利權）人： | 羅斯蒙特公司 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 潘劍穎 |
| 地址： | 美國明*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 過程 流體 傳感器 | ||
1.一種用于感測過程流體的差壓的差壓傳感器，其特征在于包括：
傳感器主體，其中形成有具有空腔輪廓的傳感器空腔；以及
所述傳感器空腔中的隔膜，被配置為響應于所施加的差壓而彎曲，所述隔膜具有隔膜輪廓，其中，在所述空腔輪廓和所述隔膜輪廓之間形成的間隙根據所述差壓而改變；
其中，所述空腔輪廓和所述隔膜輪廓中至少一個根據線壓而改變，以補償由于所述線壓而導致的所述傳感器主體的形變所導致的所述間隙的改變。
2.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體包括響應于所述線壓而發生形變的傳感器主體形變空腔。
3.根據權利要求2所述的差壓傳感器，包括：耦合到所述傳感器主體形變空腔的至少一個通氣口。
4.根據權利要求2所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體形變空腔是環形的。
5.根據權利要求2所述的差壓傳感器，包括：第二傳感器主體形變空腔。
6.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述隔膜包括響應于所述線壓發生形變的隔膜形變空腔。
7.根據權利要求6所述的差壓傳感器，其中，所述隔膜形變空腔是環形的。
8.根據權利要求6所述的差壓傳感器，包括：耦合到所述隔膜形變空腔的至少一個通氣口。
9.根據權利要求1所述的差壓傳感器，包括：在所述空腔輪廓上承載的至少一個電容器電極。
10.根據權利要求9所述的差壓傳感器，包括：基于在至少一個電容器電極和所述隔膜之間形成的電容來測量所述差壓。
11.根據權利要求1所述的差壓傳感器，包括：在所述傳感器主體輪廓上承載的至少兩個環形電容器板狀電極。
12.根據權利要求2所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體形變空腔沿徑向方向更大。
13.根據權利要求6所述的差壓傳感器，其中，所述隔膜空腔沿徑向方向更大。
14.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述隔膜由金屬制成。
15.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述隔膜由陶瓷制成。
16.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體由金屬制成。
17.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體由絕緣體制成。
18.根據權利要求1所述的差壓傳感器，其中，所述傳感器主體由金屬和絕緣體制成。
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