[實(shí)用新型]氧化鋅基透明導(dǎo)電膜玻璃的制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420565619.2
• 申請(qǐng)日: 2014-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN204281594U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金良茂;王蕓;倪嘉;王萍萍;操芳芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司;蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;蚌埠硅基材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號(hào): C03C17/23
• 分類號(hào): C03C17/23
• 代理公司: 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31251
• 代理人: 王法男

1.一種氧化鋅基透明導(dǎo)電膜玻璃的制備裝置，其特征在于，包括：

氧化鋅液體前驅(qū)物制備單元，其制備氧化鋅液體前驅(qū)物；

摻雜單元，其在所述氧化鋅液體前驅(qū)物中摻雜入摻雜前驅(qū)物，以形成摻雜氧化鋅液體前驅(qū)物；

涂覆單元，其利用液相輥涂法在玻璃基板上涂覆所述摻雜氧化鋅液體前驅(qū)物；以及

熱處理單元，對(duì)所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板進(jìn)行熱處理，以形成氧化鋅基透明導(dǎo)電膜玻璃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述摻雜前驅(qū)物包括鋁前驅(qū)物，錫前驅(qū)物，或氟前驅(qū)物。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備裝置，其特征在于，所述氧化鋅摻氟透明導(dǎo)電膜的厚度至少350nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述玻璃基板和所述氧化鋅薄膜之間沉積有中間層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備裝置，其特征在于，所述中間層的主要成分為二氧化硅。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備裝置，其特征在于，所述中間層的厚度為30～150nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述熱處理溫度為400～700℃，并且所述熱處理的時(shí)間不少于3分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述氧化鋅液體前驅(qū)物有醋酸鋅，硫酸鋅，或氯化鋅。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備裝置，其特征在于，所述中間層由氧化硅的液體前驅(qū)物形成，其包括R_uO_vSi_m，其中R為直鏈或支鏈或環(huán)烷基，u＝3-8,v＝0-4,m＝1-4，包括正硅酸乙酯(TEOS)或正硅酸甲酯(TMOS)。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備裝置，其特征在于，所述鋁前驅(qū)物包括硝酸鋁，或氯化鋁；所述錫前驅(qū)物包括四氯化錫，二氯化錫，或單丁基?三氯化錫；并且所述氟前驅(qū)物包括三氟乙酸，氫氟酸，三氟化磷，或氟化銨。