[實用新型]平面靶材厚度測量工具

有效

• 申請號: 201420564628.X
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN204142145U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 范曉鵬;張慶豐;李貴成;汪濤;郭強;胡尚智;張加友;劉占偉
• 申請（專利權）人: 山東淄博漢能光伏有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340
• 代理人: 郭霞

技術領域

本實用新型涉及一種薄膜太陽能電池生產中的靶材厚度測量工具，尤其涉及一種平面靶材厚度測量工具。

背景技術

薄膜太陽能電池生產中要用到磁控濺射設備，磁控濺射設備采用的靶材主要有旋轉靶材和平面靶材，旋轉靶材整體濺射均勻，而平面靶材濺射后會形成環形濺射溝道，如圖1和圖2所示，平面靶材1在濺射后會形成環形濺射溝道2。

當平面靶材消耗到一定程度時，需對靶材的剩余厚度進行測量，以評估靶材的剩余壽命。目前采用的方法有兩種：一種是利用外卡規進行測量，另一種是利用板厚千分尺進行測量。這兩種測量方式都是利用測量工具直接測量靶材的厚度，要靠人工對齊和肉眼觀察，所以其測量的精確性不足；另外，這兩種測量方式所采用的測量工具都不是產線常用工具，所以生產線工具利用率不高，會增加較多的額外采購成本。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種測量精確的平面靶材厚度測量工具。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的：

一種平面靶材厚度測量工具，包括游標卡尺，還包括“匚”形座，所述“匚”形座的底板的上表面為平面，所述“匚”形座的頂板上靠近邊緣的位置設有豎向通孔，所述“匚”形座的頂板上靠近所述豎向通孔的端部設有與所述豎向通孔相通的橫向螺孔，所述游標卡尺的深度尺連接于所述游標卡尺的下端，所述游標卡尺的下端置于所述豎向通孔內，所述游標卡尺的深度尺穿過所述豎向通孔，螺栓的螺桿穿過所述橫向螺孔將所述游標卡尺固定于所述“匚”形座的頂板上。

應用時，先將游標卡尺的深度尺的下端與“匚”形座的底板的上表面接觸，記下深度尺上端在游標卡尺上的讀數d1，然后將深度尺向上滑動，再將平面靶材置于“匚”形座的底板的上表面上，并使平面靶材的環形濺射溝道正對深度尺的下端，再將深度尺向下滑動使其下端與環形濺射溝道的中心位置接觸，記下深度尺上端在游標卡尺上的讀數d2，用d1-d2即得環形濺射溝道的厚度值。測量平面靶材的其它部位的厚度方法相似。

為了使游標卡尺的深度尺的下端更好地接觸平面靶材的環形濺射溝道的上表面，所述游標卡尺的深度尺的下端端面為半徑小于所述平面靶材的環形濺射溝道半徑的圓弧形面。

本實用新型的有益效果在于：

本實用新型通過讀數精確的游標卡尺和機械接觸相配合并計算高度差獲得平面靶材的厚度值，測量精度顯著提高，克服了人工對齊和肉眼觀察所帶來的測量誤差；另外，游標卡尺和“匚”形座(由“G”形夾稍加改造即可)均為太陽能電池生產線的常用工具，所以工具利用率提高了，節約了成本。

附圖說明

圖1是平面靶材的主視圖；

圖2是圖1中的A-A剖視圖；

圖3是本實用新型所述平面靶材厚度測量工具應用時的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

如圖3所示，本實用新型所述平面靶材厚度測量工具包括游標卡尺7和“匚”形座3，“匚”形座3的底板4的上表面為平面，“匚”形座3的頂板11上靠近邊緣的位置設有豎向通孔5，“匚”形座3的頂板11上靠近豎向通孔5的端部設有與豎向通孔5相通的橫向螺孔6，游標卡尺7的深度尺8連接于游標卡尺7的下端，游標卡尺7的下端置于豎向通孔5內，游標卡尺7的深度尺8穿過豎向通孔5，螺栓9的螺桿10穿過橫向螺孔6將游標卡7尺固定于“匚”形座3的頂板11上，游標卡尺7的深度尺8的下端端面為半徑小于平面靶材1的環形濺射溝道2的半徑的圓弧形面。

如圖3所示，用本測量工具測量平面靶材1的環形濺射溝道2時，先將游標卡尺7的深度尺8的下端與“匚”形座3的底板4的上表面接觸，記下深度尺8的上端在游標卡尺7上的讀數d1，然后將深度尺8向上滑動，再將平面靶材1置于“匚”形座3的底板4的上表面上，并使平面靶材1的環形濺射溝道2正對深度尺8的下端，再將深度尺8向下滑動使其下端與環形濺射溝道2的中心位置接觸，記下深度尺8的上端在游標卡尺7上的讀數d2，用d1-d2即得環形濺射溝道2的厚度值。測量平面靶材1的其它部位的厚度方法相似。

上述實施例只是本實用新型的較佳實施例，并不是對本實用新型技術方案的限制，只要是不經過創造性勞動即可在上述實施例的基礎上實現的技術方案，均應視為落入本實用新型專利的權利保護范圍內。