[實用新型]一種用于PVD濺射的載板有效

申請號：	201420563929.0	申請日：	2014-09-28
公開（公告）號：	CN204189776U	公開（公告）日：	2015-03-04
發明（設計）人：	林朝暉	申請（專利權）人：	泉州市博泰半導體科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	362000 福建省泉州市鯉城區高***	國省代碼：	福建;35
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于 pvd 濺射
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【權利要求書】：

1.一種用于PVD濺射的載板，其特征在于：所述載板由底板和蓋板組合，所述底板為帶有邊框的凹槽托板，用于承載基板，所述邊框上有定位針，所述凹槽托板開有通孔；所述蓋板與底板相配，為帶有中間鏤空槽的定位框，所述定位框有與底板定位針相對應的U型定位槽；所述凹槽托板承載的基板邊緣部分在蓋板和底板組合后被定位框遮掩。

2.根據權利要求1所述的一種用于PVD濺射的載板，其特征在于，所述邊框上至少有兩個相對應的定位針，所述定位框上至少有兩個相對應的U型定位槽，所述定位針與U型定位槽相對應。

3.根據權利要求1所述的一種用于PVD濺射的載板，其特征在于，所述載板可由A×B的多個載板拼接而成，其中A≥1，B≥1。

4.根據權利要求1所述的一種用于PVD濺射的載板，其特征在于，所述基板為硅片。

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