[實用新型]一種壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置

有效

• 申請號: 201420562434.6
• 申請日: 2014-09-26
• 公開（公告）號: CN204101661U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 周軍;宋維爾;吳佳濱;盧棟;丁建永
• 申請（專利權）人: 南京中科神光科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 張曉霞

1.一種壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置，其特征在于：包括邁克爾遜干涉儀、信號控制器、光電探測器和數據采集顯示系統；其中所述邁克爾遜干涉儀雙干涉臂分別為參考臂和測量臂，待檢測的壓電陶瓷緊固于所述測量臂中的移動反光鏡后，所述移動反光鏡隨所述壓電陶瓷形變在光路方向上發生位移；所述信號控制器向所述壓電陶瓷施加掃描電壓；所述邁克爾遜干涉儀干涉光出射至所述光電探測器；所述光電探測器探測干涉光選定點的光強并輸出信號至所述數據采集顯示系統。

2.根據權利要求1所述的壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置，其特征在于：所述邁克爾遜干涉儀包括單色光源、擴束鏡組件、分光鏡、參考反光鏡和移動反光鏡。

3.根據權利要求2所述的壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置，其特征在于：所述參考反光鏡設置在所述參考臂中，所述移動反光鏡設置在所述測量臂中。

4.根據權利要求1所述的壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置，其特征在于：所述干涉光出射光路依次設置偏轉反光鏡和小孔光闌，所述干涉光經小孔光闌后射入所述光電探測器。

5.根據權利要求1至4任一項所述的壓電陶瓷動態頻率響應的光學檢測裝置，其特征在于：所述信號控制器向壓電陶瓷施加連續的掃描電壓信號。