[實用新型]電阻加熱器

有效

• 申請號: 201420554372.4
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN204244487U
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 沈橋;甘志銀;劉勝
• 申請（專利權）人: 廣東昭信半導體裝備制造有限公司
• 主分類號: H05B3/00
• 分類號: H05B3/00;C23C16/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種電阻加熱器。

背景技術

在半導體制造設備，尤其是需要高溫加熱的半導體制造設備中，如金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD），通常使用紅外輻射加熱或電磁感應加熱。由于MOCVD工藝和生產需要，MOCVD設備加熱系統經常在高溫負載（1000攝氏度以上）下長時間運行。紅外輻射加熱中通常是電阻片或電阻絲形式。在高溫下，傳熱的方式是以輻射為主的，而輻射傳熱受其輻射角的影響。片狀加熱器輻射角較大，傳熱的效率較高，傳熱更為直接。片狀的發熱體在進行輻射傳熱時，其絕大部分的熱量能較均勻地傳遞到加受熱體底部,可實現均勻加熱，但電阻片易變性，可靠性差，壽命短。電阻絲相對于電阻片加熱效率較低，均勻性差，但可靠性較高，壽命長。

針對大面積均勻加熱，在現有技術中，通常采用多區電阻片或電阻絲紅外輻射形式，以便于通過各區域功率調節控制和實現受熱體溫度均勻。多區電阻片加熱中，外圈電阻片由于加熱功率高，電阻片變形不易控制，電阻片尤其是靠近固定電極附件處的位置較容易產生熱應力翹曲和斷裂而失效。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提出一種新型多區電阻加熱器，該加熱器具有加熱效率高，均勻性好，可靠性高及壽命長等優點。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案如下：

一種多區電阻加熱器，包括：電阻片加熱區、電阻絲加熱區，所述電阻片加熱區在電阻絲加熱區內側。

所述電阻片加熱區為1個或2個以上的單區電阻片組成，以滿足不同的加熱面積、加熱功率、加熱器結構或均勻性等方面的需要。

所述電阻絲加熱區為1股或2股以上單根電阻絲纏繞或排列組成，以滿足不同的加熱面積、加熱功率、加熱器結構或均勻性等方面的需要。

所述電阻絲加熱區或電阻片加熱區，還可以設置為周向分成2段以上電阻，各段電阻之間可以并聯或串聯，分段可以便于制造，也可以進一步減小形變，進一步提高加熱器的可靠性和壽命。

本實用新型與現有技術相比，結合了電阻片和電阻絲的優點，可以在保證大面積加熱均勻、節能的同時，提高其可靠性和壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的多區電阻加熱器的一個實施例結構示意圖。

圖2為在圖1基礎上將電阻絲加熱區替換成2股單根加熱絲纏繞形式的結構示意圖。

圖3為在圖1基礎上將各加熱區設置為分成2段以上電阻的形式的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例和附圖進一步說明本實用新型。

參考圖1，一種多區電阻加熱器包括：電阻片加熱區1和電阻絲加熱區4，電阻片加熱區1由兩個單區電阻片內圈電阻片2和中圈電阻片3組成，電阻絲加熱區4由1股單根電阻絲5纏繞組成，所述電阻片加熱區1在電阻絲加熱區4內側。

根據工藝溫度需要，分別在各電阻片或電阻絲兩端通入特定的直流電或交流電，使電阻片和電阻絲發熱，通過紅外輻射方式對受熱體加熱。

圖1的實施例中將電阻片設置成為2個單區電阻片組成，應用中可以根據不同的加熱面積、加熱功率、加熱器結構或均勻性等方面的需要，將電阻片設置為1個或2個以上的單區電阻片組成。

圖1的實施例中將電阻絲設置成為1股單根電阻絲纏繞組成，應用中可以根據不同的加熱面積、加熱功率、加熱器結構或均勻性等方面的需要，將電阻絲設置為1股或2股以上單根電阻絲纏繞或排列組成。

圖2中的實施例中即為在圖1基礎上將1股單根電阻絲5替換成2股單根電阻絲纏繞組成的電阻絲6。

圖1的實施例中電阻絲加熱區或電阻片加熱區，可以設置為周向分成2段電阻以上，各段電阻之間可以并聯或串聯，分段可以便于制造，也可以進一步減小形變，進一步提高加熱器的可靠性和壽命。

圖3中的實施例中，即為在圖1基礎上將電阻片加熱區1的內圈電阻片2設置為周向分成2段電阻片7和8，中圈電阻片3設置為周向分成2段電阻片9和10，將電阻絲加熱區4中的電阻絲5設置為周向分成3段電阻絲11、12和13。

本實施例可以廣泛應用于半導體制造設備的加熱系統，尤其是金屬有機物化學氣相沉積設備（MOCVD）的加熱系統，電阻片和電阻絲的結合使用，可以在保證大面積加熱均勻、節能的同時，提高其可靠性和壽命。

上述實施例只是本實用新型較優選的具體實施方式的一種，本領域技術人員在本實用新型方案范圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保護范圍內。