[實用新型]一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置

有效

• 申請號: 201420552391.3
• 申請日: 2014-09-24
• 公開（公告）號: CN204085698U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 國承山;劉軒;王本義;謝一言
• 申請（專利權）人: 山東師范大學
• 主分類號: G01J4/00
• 分類號: G01J4/00
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 張勇

1.一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置，其特征是，包括光源系統、光柵衍射系統、干涉系統、記錄系統和數據處理系統；所述光源系統包括兩個互不相干的光源S1和S2，由S1和S2發出的兩束光先分別經過由兩個二維正交光柵CG1和CG2組成的衍射系統衍射后，再通過一個偏振分光鏡分別進入干涉系統的物波光路和參考光路；在物波光路中，通過低通濾波只保留從衍射系統出射的零級衍射光作為照明光入射到樣品上，透過樣品后形成包含樣品偏振信息的物光波；在參考光路中，利用一個四通道偏振空間濾波器進行濾波處理和偏振處理，只保留從衍射系統出射的四束一級衍射光作為參考光波；物光波與參考光波通過一個非偏振分光鏡在記錄平面疊加，疊加光場由記錄系統記錄，得到包含物光波的振幅、相位和偏振信息的四通道瓊斯矩陣全息圖，利用數據處理系統對記錄的全息圖進行數據處理得到樣品的二維瓊斯矩陣全部四個矩陣參量的振幅和相位分布。

2.如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述干涉系統，為馬赫-曾德干涉系統，包括一個入射偏振分光鏡、一個出射非偏振分光鏡、兩個反射鏡、耦合變換透鏡、低通空間濾波器和四通道偏振空間濾波器；入射偏振分光鏡將進入干涉系統的光線分成兩組偏振態正交的線偏振光分別入射到樣品光路和參考光路，出射非偏振分光鏡對形成的物光波和參考光波進行匯聚出射。

3.如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述物波光路的照明光，包括通過兩個二維正交光柵CG1和CG2形成的兩束零級衍射光，這兩束零級衍射光均為線偏振光且偏振方向互相垂直。

4.如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述四通道偏振空間濾波器的濾波處理和偏振處理，是指先通過四通道偏振空間濾波器對進入參考光路的光進行濾波，只讓通過兩個正交光柵形成的多束一級衍射光中的四束通過，其中兩束來自正交光柵CG1，另兩束來自CG2；然后再通過四通道偏振空間濾波器所附的兩組與樣品光路中照明光的偏振分量A1或A2分別成+45度角和－45角的正交線偏振器使四束參考光變成兩兩正交的線偏振光。