[實用新型]碳化硅單晶生長爐的測溫孔自清理裝置有效
| 申請號： | 201420551466.6 | 申請日： | 2014-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN204097596U | 公開（公告）日： | 2015-01-14 |
| 發明（設計）人： | 張皓;徐永寬;程紅娟;孟大磊 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | C30B23/00 | 分類號： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碳化硅 生長 測溫 清理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳化硅單晶生長爐的測溫孔自清理裝置，測溫孔自清理裝置（3）采用高純石墨材質、由不同直徑的、內有中心孔（3-1）的圓柱體組成，其特征在于：其總長度略大于生長坩堝（1）底部至下法蘭（4）上表面距離，上端圓柱體外徑與底層石墨保溫層（2）測溫孔內徑相同，下端圓柱體外徑與下法蘭(4)測溫孔內徑相同,在直徑最大處對稱、均勻設置數個傾斜通槽（3-2），使用時，測溫孔自清理裝置（3）上端直管插入底層石墨保溫層（2）測溫孔中，頂端不與生長坩堝（1）底部接觸、底端伸入下法蘭盤（4）測溫孔中。
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