[實用新型]藍寶石單晶爐結構

有效

• 申請號: 201420549187.6
• 申請日: 2014-09-23
• 公開（公告）號: CN204151463U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 宋奇
• 申請（專利權）人: 上海朗兆機電設備有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B15/00
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 沈履君

技術領域

本實用新型涉及半導體生產領域，特別是一種藍寶石單晶爐結構。

背景技術

藍寶石晶體具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性，強度高、硬度大、耐腐蝕，可在接近2000℃高溫的惡劣條件下工作，因而得到廣泛的應用。是半導體發光二極管(LED)，大規模集成電路SOI和SOS及超導納米結構薄膜等最為理想的襯底材料。

藍寶石單晶爐結構是針對藍寶石晶體的廣泛應用而開發的晶體生長設備。傳統的藍寶石單晶爐結構是把設備的幾個組成部分拼合、擺放在一起組成一臺設備，缺乏統一的安裝平臺來整體布局，造成安裝時工作量相對較大，對安裝人員的技術水平要求高，輔助設備占用率高，效率低。

實用新型內容

本實用新型提供了一種方便裝配及運輸的藍寶石單晶爐結構。

為解決上述技術問題，本實用新型藍寶石單晶爐結構，包括：機架、腔體、旋轉機構、運動機構、電源、控制柜、及水冷系統；其中所述機架包括：底架，在所述底架上設有安裝孔，所述腔體設置在所述安裝孔內；底板，所述底板設置在所述底架的下方，所述底架通過鎖緊螺釘與所述底板連接；調節螺釘及調節螺母，所述調節螺釘及所述調節螺母設置在所述底板上；立柱，所述立柱設置在所述底架的一側，所述旋轉機構設置在所述立柱的上端面；所述運動機構與所述旋轉機構連接；橫梁，所述橫梁設置在所述底架上，所述控制柜通過螺釘固定在所述橫梁上。

所述底板、所述調節螺釘及所述調節螺母的數量為四個，四個所述底板、所述調節螺釘及所述調節螺母的數量為四個分別設置在所述底板的四個角。

所述旋轉機構包括：底座，所述底座為一貫通的柱體，所述底座的一端插入所述立柱內；轉軸，所述轉軸穿設于所述底座，所述轉軸的兩端分別伸出所述底座的兩端；支座，所述支座通過螺釘設置在所述轉軸上部。

在所述底座上、下兩端的內壁上分別環接有襯套。

在所述襯套上設有油槽。

所述設有油槽為半圓形環形。

在所述轉軸插入所述立柱內的一端的末端設有擋圈。

本實用新型藍寶石單晶爐結構將設備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運輸到使用場所，減少在安裝場地的工作量，縮短安裝、調整的時間，快速進入工作狀態，提高效率。

附圖說明

圖1為本實用新型藍寶石單晶爐結構結構示意圖；

圖2為本實用新型藍寶石單晶爐結構機架結構示意圖；

圖3為本實用新型藍寶石單晶爐結構旋轉機構結構示意圖。

本實用新型藍寶石單晶爐結構附圖中附圖標記說明：

1-底板??????2-底架???????3-橫梁

4-立柱??????5-鎖緊螺釘???6-調節螺釘

7-調節螺母??8-安裝孔?????9-底座

10-轉軸?????11-襯套??????12-支座

13-螺釘?????14-擋圈??????15-機架

16-腔體?????17-旋轉機構??18-運動機構

19-電源?????20-控制柜????21-水冷系統

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型藍寶石單晶爐結構作進一步詳細說明。

如圖1～圖3所示，本實用新型藍寶石單晶爐結構的機架15，按預定位置將四塊底板1用地腳螺栓固定在地基上，將底架2按裝配關系放置在底板1之上，然后用調節螺釘6和調節螺母7調整底架2水平度，最后用鎖緊螺釘13固定好底架2的位置。

將立柱4裝入底架2的一側，用螺栓固定，其上端用于安裝旋轉及運動機構18。再將橫梁3裝入底架2，并固定，實現電氣控制系統的固定。同時，底架2上中空的安裝孔8安裝平面用于安裝設備的腔體16部分。

旋轉機構17包括：形狀為一貫通的柱體的底座9，底座9的一端插入立柱4內。在底座9的兩端的開口處分別裝入滑動襯套11，在滑動襯套11的半圓形環形油槽(圖中未示出)中涂少量潤滑脂。然后將轉軸10裝入兩個滑動襯套11中，并貫穿整個底座9。同時，在轉軸10插入立柱4內的一端的末端設有擋圈14。此時，通過底座9及其上的襯套11能保證轉軸10的旋轉平穩，無卡阻現象。并且具備足夠的抵抗變形的能力。

然后，將支座12安裝在轉軸10上部，并通過螺釘13固定。再將運動機構18安裝通過支座12連接在轉軸10上，可實現大角度旋轉，并使設備結構得以簡化，降低空間尺寸，使設備進一步小型化、輕量化。