[實用新型]恒溫水槽水溫監控裝置

有效

• 申請號: 201420544299.2
• 申請日: 2014-09-22
• 公開（公告）號: CN204084873U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 趙海標;畢建璋;陳建榮
• 申請（專利權）人: 冠銓（山東）光電科技有限公司
• 主分類號: F24H9/20
• 分類號: F24H9/20
• 代理公司: 濟寧眾城專利事務所 37106
• 代理人: 李效寧

技術領域

本實用新型屬于晶體生長設備技術領域，具體涉及一種恒溫水槽水溫監控裝置。

背景技術

現有技術的晶體生長過程需使用恒溫水箱控制水溫，傳統水箱控制水溫一般采用內置控溫器調節，水溫數據在水箱顯示面板上顯示，由于恒溫水箱與主機通訊協議、通訊方式等存在差異，導致不能將溫度信號遠程傳送到主機上，水箱水溫無法實時反饋，不利于水溫遠程監控及系統正常運行；另外，傳統箱體只有一進水口和一出水口，通常進水口的溫度要低于出水口的溫度，箱體內水溫均衡度較差，水溫控制不精確，影響晶體生長速度與質量。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，提供一種恒溫水槽水溫監控裝置，它可實現遠程精確控制水溫，提高晶體的生長質量。

本實用新型解決其技術問題所采取的技術方案是：恒溫水槽水溫監控裝置，包括用來監控水箱溫度的主機，該主機通過RS-485總線連接至少兩臺水箱，水箱的下端各設有一將檢測信號轉換為數字信號的交換器，所述交換器通過一總交換器與控制器相連，所述水箱包括箱體，箱體的兩側設有至少三排進水口與出水口，所述進水口與出水口之間還設有與流量閥相連接的管網循環泵，箱體的底端內部中空，其空腔設有與電源連接的加熱管，其箱體內還設有與交換器電連接的半導體溫度傳感器。

具體地，所述的控制器過RS-485總線連接7臺水箱；所述的半導體溫度傳感器設置在箱體底端的中部。

本實用新型的有益效果是：通過增設多排進水口與出水口，可以使箱體內的水體近乎達到整體流進與整體流出的效果，箱體水溫均衡性較好；采用RS-485總線可以實現一臺主機控制多臺恒溫水箱，并能夠將水箱水溫及時反饋至主機，實現恒溫水箱的遠程監控，確保MOCVD系統正常運行，保證晶體生長質量。?

附圖說明：?

圖1為本實用新型的結構示意圖。圖中：

1、主機，2.水箱，21.進水口，22.排水口，3.流量閥，4.管網循環泵，5.半導體溫度傳感器，6.加熱管，7.RS-485總線，8.總交換器，9.交換器。

具體實施方式：?

參照說明書附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示：恒溫水槽水溫監控裝置，包括用來監控水箱溫度的主機1，即控制器部分，該主機1通過RS-485總線7連接多臺水箱2，所述水箱2包括箱體，該箱體采用不銹鋼材質；箱體的兩側設有至少三排進水口21與出水口22，所述進水口21與出水口22之間還設有與流量閥3相連接的管網循環泵4，箱體的底端內部中空，其空腔設有與電源連接的加熱管6，其箱體內還設有與交換器9電連接的半導體溫度傳感器5，所述的半導體溫度傳感器5設置在箱體底端的中部，通過增設多排進水口21與出水口22，可以使箱體內的水體近乎達到整體流進與整體流出的效果，箱體水溫均衡性好。

每臺水箱2的下端均設有將檢測信號轉換為數字信號的交換器9，上述交換器9通過一總交換器8與主機1相連，將傳統的RS-232C通訊接口轉換為RS-485通訊接口，該RS-485總線7接口簡單，組網方便；主機1上還設有控制水箱2溫度的監控軟件。

將多臺水箱2的溫度信號匯集到一根通訊電纜上，然后將數字信號傳輸至遠端的控制主機1上，不僅節約了通訊電纜的鋪設成本而且可以在主機1界面上實現遠程調控溫度、監測溫度、溫度數據記錄、超溫報警等功能，當產品出現異常時，主機1界面記錄的溫度數據可以為異常分析提供可靠數據，確保系統（MOCVD）正常運行，保證晶體生長質量。

除說明書所述技術特征外，均為本專業技術人員已知技術。