[實用新型]一種熱壁金屬有機物化學氣相沉積設備有效

申請號：	201420531280.4	申請日：	2014-09-15
公開（公告）號：	CN204125530U	公開（公告）日：	2015-01-28
發明（設計）人：	劉祥林	申請（專利權）人：	劉祥林
主分類號：	C23C16/44	分類號：	C23C16/44
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	100083 北京市海淀***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種金屬有機物化學沉積設備
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【權利要求書】：

1.一種熱壁金屬有機物化學氣相沉積設備，其特征在于：其結構包括長方形反應室(3)、托盤加熱器(1)、天棚加熱器(2)、襯底托盤(4)；長方形反應室(3)是一個水平反應室；它前端為氣體進入口，有2塊隔板，分隔成3個氣體進入口，中間為MO源入口，上下兩個入口為氨氣入口；長方形反應室(3)的底部有1個圓孔：為托盤鑲嵌孔，其直徑略大于襯底托盤(4)的直徑；長方形反應室(3)的后端為尾氣出口，反應室內產生的尾氣從這里排出；襯底托盤(4)的外形為圓形，嵌入長方形反應室(3)底部的托盤鑲嵌孔內；托盤加熱器(1)固定在襯底托盤(4)下部，天棚加熱器(2)固定在長方形反應室(3)的頂部，托盤加熱器(1)、天棚加熱器(2)分別由兩個溫度控制器控制。?

2.如權利要求1所述的一種熱壁金屬有機物化學氣相沉積設備，其特征在于：在MO入口中通入MO源以及攜帶氣體，其中攜帶氣體包括氫氣、氮氣或者氫氣和氮氣的混合氣體。?

3.如權利要求1所述的一種熱壁金屬有機物化學氣相沉積設備，其特征在于：在氨氣入口中通入氨氣，或者氨氣與氫氣、氮氣的混合氣體。?

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