[實(shí)用新型]FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420528639.2
• 申請(qǐng)日: 2014-09-16
• 公開（公告）號(hào): CN204052250U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊智文;李健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市凱爾迪光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 深圳國鑫聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44324
• 代理人: 王志強(qiáng)

1.FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，包括機(jī)體，其特征在于：所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置用于傳送覆晶載板的兩個(gè)水平設(shè)置的上膠輥組和下膠輥組，上膠輥組和下膠輥組分別包括多個(gè)膠輥，所述上膠輥組和下膠輥組之間設(shè)有用于覆晶載板通過的間隙，在上膠輥組和下膠輥組的上方且沿覆晶載板運(yùn)行方向上依次設(shè)置有化學(xué)清洗室、化學(xué)隔離室、DI水預(yù)洗室、第一風(fēng)切干燥室、DI水漂洗室、噴淋室、第二風(fēng)切干燥室和熱風(fēng)干燥室，所述化學(xué)隔離室、第一風(fēng)切干燥室和第二風(fēng)切干燥室中均安裝有上風(fēng)刀和下風(fēng)刀，所述上風(fēng)刀和下風(fēng)刀用于清理覆晶載板表面的清洗液體，所述化學(xué)隔離室、第一風(fēng)切干燥室和第二風(fēng)切干燥室中對(duì)應(yīng)的膠輥設(shè)有沿覆晶載板移動(dòng)方向設(shè)置的掃風(fēng)槽，所述掃風(fēng)槽用于增大覆晶載板被掃風(fēng)的面積，所述掃風(fēng)槽為沿膠輥徑向設(shè)置的環(huán)形凹槽，所述膠輥上設(shè)有多個(gè)掃風(fēng)槽且沿膠輥軸向均勻設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述DI水預(yù)洗室、第一風(fēng)切干燥室通過管路連接第二槽，所述第二槽用于收集DI水預(yù)洗室、第一風(fēng)切干燥室中的DI水，所述第二槽中的DI水通過第二泵返回DI水預(yù)洗室；所述DI水漂洗室通過管路連接第三槽，所述第三槽用于收集DI水漂洗室中的DI水，所述第三槽中的DI水通過第三泵返回DI水漂洗室；所述噴淋室、第二風(fēng)切干燥室通過管路連接第四槽，所述第四槽用于收集噴淋室、第二風(fēng)切干燥室中的DI水，所述第四槽中的DI水通過第四泵返回噴淋室；

所述第四槽中的DI水可流入第三槽，所述第三槽中的DI水可流入第二槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述第四槽設(shè)有流入管路，所述DI水可通過流入管路補(bǔ)充到第四槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述化學(xué)清洗室、化學(xué)隔離室通過管路連接第一槽，所述第一槽用于收集化學(xué)清洗室、化學(xué)隔離室中的清洗液，所述第一槽中的清洗液通過第一泵返回化學(xué)清洗室。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述化學(xué)清洗室、DI水預(yù)洗室、DI水漂洗室和噴淋室中均安裝有上噴淋桿和下噴淋桿。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述上噴淋桿和下噴淋桿有多組，所述上噴淋桿和下噴淋桿均設(shè)有噴頭，所述相鄰上噴淋桿的噴頭在豎直方向的投影交錯(cuò)設(shè)置，所述相鄰下噴淋桿的噴頭在豎直方向的投影交錯(cuò)設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述上風(fēng)刀和下風(fēng)刀與膠輥組所在平面之間的夾角呈70°-80°。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述膠輥為耐腐蝕膠輥，所述膠輥為EDMP材料制成。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)還包括動(dòng)力軸，動(dòng)力軸用于對(duì)膠輥提供動(dòng)力，所述動(dòng)力軸有多個(gè)，所述動(dòng)力軸與下膠輥組中的膠輥齒嚙合，所述下膠輥組中的奇數(shù)個(gè)膠輥與奇數(shù)動(dòng)力軸齒嚙合，下膠輥組中的偶數(shù)個(gè)膠輥與偶數(shù)動(dòng)力軸齒嚙合，所述下膠輥組中的膠輥通過直齒與上膠輥組中的膠輥齒嚙合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FCCSP全自動(dòng)在線清洗機(jī)，其特征在于：所述化學(xué)清洗室和化學(xué)隔離室內(nèi)設(shè)有除霧冷凝器；所述除霧冷凝器用于提高化學(xué)清洗室和化學(xué)隔離室內(nèi)可見度并冷凝收集氣態(tài)清洗液。