[實用新型]旋轉靶材有效
| 申請號： | 201420525878.2 | 申請日： | 2014-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN204281849U | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發明（設計）人： | 張鳳戈;穆健剛;馬志偉;李建奎;楊本潤;劉健;陳鵬 | 申請（專利權）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 劉春成;榮紅穎 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 旋轉 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉靶材，其特征在于，包括管狀結構的管體和環狀結構的端頭，所述端頭的內徑固定地套設于所述管體的端部；
其中，所述管體的端部和所述端頭之間夾置有導電導熱的墊片；
所述管體的端部外徑收縮變小，且所述端頭的外表面設有向所述管體傾斜的斜面；所述管體包括外徑依次變小的本體段、連接段和收縮段，裝配時，所述收縮段、所述連接段從所述斜面的一端插入所述端頭的內部，直至所述連接段與所述本體段的相鄰臺階和所述端頭的端面接觸。
2.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部外表面光滑，所述端頭的內表面光滑，所述管體的端部和所述端頭之間為過盈配合。
3.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部設有外螺紋，所述端頭的內表面設有內螺紋，所述管體的端部和所述端頭之間螺紋連接。
4.根據權利要求2所述的旋轉靶材，其特征在于，所述端頭的內徑比所述旋轉靶材使用完后的最小外徑小1mm，所述管體的外徑比所述端頭的內徑大0～0.1mm。
5.根據權利要求1-4任一所述的旋轉靶材，其特征在于，所述端頭、管體為鎳鉻材質。
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