[實用新型]具有實時控制機制的噴涂裝置

有效

• 申請號: 201420522929.6
• 申請日: 2014-09-12
• 公開（公告）號: CN204107794U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 林武郎;周明源;郭子瑋;甘東昇;方建利;鄭煌玉;呂學禮;郭明倫
• 申請（專利權）人: 技鼎股份有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/11;B05B1/02
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

技術領域

本實用新型關于一種噴涂裝置，特別關于一種在半導體制程中用于進行噴涂制程，并且能夠根據經過閥體的噴涂材料量實時地調整其所施配的噴涂材料量的具有實時控制機制的噴涂裝置。

背景技術

噴涂裝置為在半導體制程中經常使用的裝置，其主要功能用于將一噴涂材料噴灑至半導體中的晶圓上，以進行半導體制程中的噴涂制程。現有的噴涂裝置主要包括用于容置噴涂材料的儲料容器、將噴涂材料添加置儲料容器中的加料裝置，以及用于將噴涂材料噴出至晶圓上的均勻噴涂組件。

在進行噴涂制程時，由于每個批次(run-to-run)結束后噴涂裝置的參數皆會改變，因此，一般來說業界中會針對每個批次的執行狀況，例如在每個批次中噴涂裝置所噴灑的噴涂材料量進行量測，以在噴涂裝置執行下個批次的噴涂制程前進行相對應參數的調整，以維持噴涂制程的質量?，F有的噴涂裝置僅能在各個批次結束后才能將所量測的信息回饋給計算機主機，而計算機主機也必須等待各個批次結束收到量測信息后才能進行相對應的計算，并將相對應的控制命令傳送給其它組件，因此，上述的作業方式拉長了現有的噴涂裝置在各個噴涂制程中的運作時間；有些現有的噴涂裝置甚至只有監控的功能，無法進行自動回饋控制。另外，在現有的噴涂裝置中，必須以人工的方式先將噴涂材料以正確的比例混合完成后再補充至加料裝置中，使得噴涂材料的補充過程較耗時耗力，導致產量降低。

實用新型內容

基于上述理由，本實用新型的目的在于提供一種具有實時控制機制的噴涂裝置，其可以對流經均勻噴涂組件的噴涂材料量進行監控并且及時將監控信息回饋給控制器，以調整噴涂裝置所施配的噴涂材料量。

本實用新型的另一目的在于提供一種噴涂裝置，其具有一自動定量連續加料裝置，能夠大幅節省替換噴涂材料的時間，藉此提高產量。

本實用新型的再一目的在于提供一種噴涂裝置，其中的均勻噴涂組件具有可替換針頭的設計，藉此增加噴涂的變化度以及維修時的方便性。

為達成前述目的，本實用新型提供一種具有實時控制機制的噴涂裝置，其包括：一儲料容器、一自動定量連續加料裝置、一均勻噴涂組件、一調壓器以及至少一傳感器。所述儲料容器具有一輸出端以及一輸入端。所述自動定量連續加料裝置經由一加料管路連接于儲料容器的輸入端，用以將一噴涂材料添加至儲料容器中。所述均勻噴涂組件經由一進料管路與儲料容器的輸出端連接，藉此將儲料容器中的噴涂材料噴出。所述調壓器經由一加壓管路與儲料容器的輸入端連接。加壓管路中設置有一控制器，調壓器將一氣體源所供應的一氣體經由加壓管路以及控制器輸送至儲料容器中，以對儲料容器中的噴涂材料加壓。所述至少一傳感器用以量測該噴涂裝置中輸送的該噴涂材料的一物理量。其中，至少一傳感器將所量測的物理量的信息傳送給控制器，控制器根據至少一傳感器所回饋的信息實時地調整對儲料容器中的噴涂材料所施加的壓力。

根據本實用新型的一實施例，噴涂裝置進一步包括一循環機制。循環機制包括：一回流管路，其兩端分別連接于均勻噴涂組件以及儲料容器；以及一供料裝置，與回流管路連接，用以將殘余在均勻噴涂組件中的噴涂材料從均勻噴涂組件經由回流管路送回至儲料容器中。

根據本實用新型的一實施例，噴涂裝置進一步包括一第一傳感器。第一傳感器可以設置于進料管路中，用以量測從儲料容器輸送至均勻噴涂組件的噴涂材料的物理量；或者，第一傳感器可以設置于回流管路中，用以量測循環機制所回收的噴涂材料的物理量。

根據本實用新型的一實施例，噴涂裝置進一步包括一第一傳感器以及一第二傳感器。第一傳感器設置于進料管路中，用以量測從該儲料容器輸送至該均勻噴涂組件的該噴涂材料的物理量。第二傳感器設置于回流管路中，用以量測該循環機制所回收的噴涂材料的物理量。

根據本實用新型的一實施例，所述自動定量連續加料裝置包括：一混料單元以及一溶劑供給單元。所述混料單元透過一螺桿閥連接至儲料容器的輸入端，藉此將一原料經由螺桿閥輸送至儲料容器中。所述溶劑供給單元透過一質流量控制器連接至儲料容器的輸入端，用以將一溶劑經由質流量控制器供給至儲料容器中。其中，儲料容器中設置有一儲料容器攪拌裝置，儲料容器透過儲料容器攪拌裝置將原料以及溶劑均勻攪拌混合成為噴涂材料。較佳地，混料單元中設置有一混料單元攪拌裝置，以將原料在混料單元中攪拌均勻。