[實用新型]一種石墨坩堝

有效

• 申請號: 201420520938.1
• 申請日: 2014-09-11
• 公開（公告）號: CN204039551U
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 甄西合;徐超;張欽輝;劉建強;史達威;王琦
• 申請（專利權）人: 北京首量科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京中海智圣知識產權代理有限公司 11282
• 代理人: 胡靜

技術領域

本實用新型涉及用于加熱晶體的坩堝結構技術領域，具體涉及一種批量制備氟化鎂晶體的石墨坩堝。

背景技術

石墨坩堝具有良好的耐高溫性及化學穩定性，在高溫使用時熱膨脹系數小，同時對酸、堿性溶液有較強的抗腐蝕性，廣泛應用于冶金、機械、化工等行業。

氟化物晶體生長工藝中，使用石墨坩堝，在晶體生長過程中除了加熱器、保溫罩外，石墨坩堝的結構對晶體生長有很大影響。現有的坩堝結構無法實現特定尺寸晶體的批量生產，單晶生成率低，不利于提高生產效率。

中國專利ZL200480010535.1公開了一種可用極短的時間制造氟化物晶體的制造裝置及制造方法。該專利的技術方案是對裝置實施了改造，使之具有能處理氟化物的反應室、窗戶材料等，可進行高真空排氣，且使種晶與熔融液容易接觸，并且通過使用對坩堝坑部的毛細部進行控制的坩堝，能夠用短時間穩定地得到高品質的氟化物單晶。但該裝置每次只能生成一根氟化物晶體，且結構復雜，加工工藝繁復，裝置的制造成本高。

實用新型內容

本實用新型目的在于，克服現有技術中的缺陷，提供一種結構簡單，一次加工過程可生成多根晶體的石墨坩堝。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：提供一種石墨坩堝，包括依次連接的坩堝蓋、多孔坩堝和坩堝托，多孔坩堝呈柱狀體結構，在柱狀體的中部設有多孔段，多孔段的上、下分別設有上空腔段和下空腔段，多孔段上設有多個軸向孔，軸向孔的底部呈錐孔，錐孔的底部設有毛細孔；坩堝托呈錐形殼體，坩堝蓋扣壓在多孔坩堝的頂端。

優選的技術方案是，所述錐孔的錐度為90°～120°。

優選的技術方案還有，所述毛細孔為直孔，毛細孔的直徑為3mm～5mm。

優選的技術方案還有，所述多個軸向孔沿柱狀體的軸線對稱分布。

優選的技術方案還有，所述坩堝托的上部設有螺紋段，所述螺紋段與設置在多孔坩堝的外壁上的螺紋段螺紋連接。

優選的技術方案還有，所述錐形殼體的錐度為120°～150°。

進一步優選的技術方案是，在所述錐形殼體的底部設有第二毛細孔，第二毛細孔為直孔，第二毛細孔的直徑為10mm～12mm。

優選的技術方案還有，所述的軸向孔為圓孔，所述圓孔圍繞軸心設有內外兩圈，設置在外圈上的圓孔直徑為50mm～60mm，設置在內圈上的圓孔直徑為40mm～50mm。

優選的技術方案還有，所述上空腔段的容積大于下空腔段的容積。

優選的技術方案還有，所述坩堝蓋呈圓盤狀，圓盤的邊緣設有向上的翻邊，將所述翻邊扣壓在上空腔段的頂部。

本實用新型的優點及有益效果是，該石墨坩堝與現有石墨坩堝相比較具有如下優點：

1、坩堝結構簡單，易于加工。

2、可以單次批量制備多根氟化物晶體，生產效率高。

3、利用這種形式的坩堝，當晶體從底部生長至通過毛細通透孔時，能夠發生二次淘汰過程，有效提高單晶成品率。

附圖說明

圖1為本實用新型石墨坩堝的結構示意圖。

圖中：1-坩堝蓋，1.1-翻邊，2-多孔坩堝，2.1-多孔段，2.2-上空腔段，2.3-下空腔段，2.4-軸向孔，2.5-錐孔，2.6-毛細孔，3-坩堝托，3.1-第二毛細孔。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型一種石墨坩堝，包括坩堝蓋1、多孔坩堝2和坩堝托3，多孔坩堝2呈柱狀體結構，在柱狀體的中部設有多孔段2.1，多孔段的上、下分別設有上空腔段2.2和下空腔段2.3，多孔段2.1上設有多個軸向孔2.4，軸向孔2.4的底部呈錐孔2.5，錐孔2.5的底部設有毛細孔2.6；坩堝托3呈錐形殼體，坩堝蓋1扣壓在多孔坩堝2的頂端。

本實用新型優選的實施方案是，所述錐孔的錐度為90°。

本實用新型優選的實施方案還有，所述毛細孔2.6為直孔，毛細孔2.6的直徑為5mm。

本實用新型優選的實施方案還有，所述多個軸向孔2.4沿柱狀體的軸線對稱分布。

本實用新型優選的實施方案還有，所述坩堝托3的上部設有螺紋段，所述螺紋段與設置在多孔坩堝2的外壁上的螺紋段螺紋連接。

本實用新型優選的實施方案還有，所述錐形殼體的在錐度為120°。

本實用新型進一步優選的實施方案是，在所述錐形殼體的底部設有第二毛細孔3.1，第二毛細孔3.1為直孔，第二毛細孔3.1的直徑為10mm～12mm。