[實用新型]一種用于物鏡成像系統的波像差高精度測量裝置

有效

• 申請號: 201420518689.2
• 申請日: 2014-09-10
• 公開（公告）號: CN204165736U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 盧云君;唐鋒;王向朝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純;張寧展

1.一種用于物鏡成像系統的波像差檢測裝置，其特征在于，包含：光源(1)、沿該光源發出光方向依次放置的準直鏡(2)、分光鏡(3)、聚焦鏡(4)和標準球面反射鏡(5)，以及數據處理單元(9)、與該數據處理單元(9)分別連接的波前傳感器(6)、第一精密調整臺(7)和第二精密調整臺(8)；

所述的光源(1)發出的光經過所述的準直鏡(2)成為平行光后入射到所述的分光鏡(3)，由分光鏡(3)反射后經所述的聚焦鏡(4)入射至所述的標準球面反射鏡(5)后沿原路返回至分光鏡(3)，一部分光透過所述的分光鏡(3)被所述的波前傳感器(6)接收，最后由所述的數據處理單元(9)處理；

所述的第一精密調整臺(7)具有五個調節自由度，用于調節待測物鏡成像系統(10)的位置和方向，所述的第二精密調整臺(8)具有三個調節自由度，用于調節所述的標準球面反射鏡(5)的位置和方向。

2.根據權利要求1所述的用于物鏡成像系統的波像差檢測裝置，其特征在于，所述待測物鏡成像系統(10)是單個成像透鏡或由多個光學器件組合的成像系統。

3.根據權利要求1所述的用于物鏡成像系統的波像差檢測裝置，其特征在于，所述的波前傳感器(6)是由微透鏡陣列和CCD的組合式的哈特曼傳感器，或者是基于剪切干涉原理的剪切干涉儀。

4.根據權利要求1所述的用于物鏡成像系統的波像差檢測裝置，其特征在于，所述的波前傳感器放置所述的分光鏡的反射光一側，且與其同光軸。

5.根據權利要求1所述的用于物鏡成像系統的波像差檢測裝置，其特征在于，所述的標準球面反射鏡(5)的面形誤差要低于所述的波前傳感器(6)的檢測精度。