[實用新型]用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420515189.3 | 申請日： | 2014-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN204138343U | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陸大軍;易忠海;李俊朝;羅平;楊斌;陸大春;黃雷;楊光輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B3/56 | 分類號： | C01B3/56 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志東 |
| 地址： | 655011 云南省昆*** | 國省代碼： | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 多晶 尾氣 回收 氫氣 再生 系統(tǒng) | ||
1.一種用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)，其特征在于，包括：
水冷換熱器，所述水冷換熱器具有冷卻水進口、熱水出口、再生氣進口和第一冷卻再生氣出口；
氣氣換熱器，所述氣氣換熱器具有冷氣進口、熱氣出口、第一冷卻再生氣進口和第二冷卻再生氣出口，所述第一冷卻再生氣進口與所述第一冷卻再生氣出口相連；
深冷器，所述深冷器具有R22冷媒進口、R22冷媒出口、第二冷卻再生氣進口、氣液出口，所述第二冷卻再生氣進口與所述第二冷卻再生氣出口相連；
氣液分離器，所述氣液分離器具有氣液進口、不凝氣出口和氯硅烷冷凝液出口，所述氣液進口與所述氣液出口相連；
壓縮機，所述壓縮機與所述不凝氣出口相連；以及
吸附設(shè)備，所述吸附設(shè)備與所述壓縮機相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)，其特征在于，所述氣氣換熱器設(shè)置在所述氣液分離器與所述壓縮機之間，所述不凝氣出口與所述冷氣進口相連，所述熱氣出口與所述壓縮機相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)，其特征在于，所述吸附設(shè)備為吸附柱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)，其特征在于，所述吸附柱內(nèi)具有活性炭。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅尾氣干法回收氫氣中再生氫氣的系統(tǒng)，其特征在于，所述氣液分離器的水平高度低于所述深冷器的水平高度。
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