[實用新型]一種硅棒拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420511736.0
• 申請日: 2014-09-05
• 公開（公告）號: CN204075897U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設計）人: 張建;狄紅祥;靳達興
• 申請（專利權）人: 中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司
• 主分類號: B24B5/36
• 分類號: B24B5/36;B24B55/02;B24B55/06
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張榮

1.一種硅棒拋光裝置，包括驅(qū)動機構(1)和砂輪(2)，所述砂輪(2)螺接在驅(qū)動機構(1)的驅(qū)動軸上；其特征在于，還包括防護罩(3)和冷水箱(4)，所述防護罩(3)為環(huán)形，其內(nèi)部設置有冷卻槽(301)，所述冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)設有噴水孔(302)，所述防護罩(3)固定在驅(qū)動機構(1)上；所述冷水箱(4)通過管道與冷卻槽(301)連通；所述砂輪(2)為金剛石砂輪。

2.如權利要求1所述的硅棒拋光裝置，其特征在于，所述防護罩(3)為截面呈“凹”形的環(huán)形防護罩，所述防護罩(3)端面內(nèi)徑不大于砂輪直徑。

3.如權利要求1所述的硅棒拋光裝置，其特征在于，所述防護罩(3)通過螺栓固定在驅(qū)動機構(1)上。

4.如權利要求1所述的硅棒拋光裝置，其特征在于，所述噴水孔(302)均勻設置在冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)。

5.如權利要求1所述的硅棒拋光裝置，其特征在于，所述防護罩(3)為金屬防護罩。

6.如權利要求1-5任一項所述的硅棒拋光裝置，其特征在于，所述防護罩(3)底端設置有供冷卻水流出的開口。