[實用新型]內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420510198.3 | 申請日： | 2014-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN204027755U | 公開（公告）日： | 2014-12-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 段祥照;賈文娟;劉爽 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽市傳感技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責任公司 21101 | 代理人： | 刁佩德 |
| 地址： | 110015 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 內(nèi)置 平衡 薄膜 隔離 型表壓 傳感器 | ||
1.一種內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，包括與大氣參考壓端連通的力敏元件殼體，分別與力敏元件殼體相互封接在一起的外連電路板連接座和力敏元件轉(zhuǎn)接座，以及連接力敏元件的穿過引線孔，并引出外連電路板連接座端的傳感引線，其特征在于：所述力敏元件殼體的上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；力敏元件的傳感引線位于力敏元件殼體的引線孔的引出端采用封口密封膠進行膠接密封，同時采用封口密封膠密封傳感引線的引出外連電路板連接座端，并使大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜分隔的腔體下部，與力敏元件殼體的下部裝有力敏元件的導壓腔體相互連通，形成封閉的導壓腔，大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜分隔的腔體上部，連通相互封接在一起的外連電路板連接座和力敏元件殼體的與大氣參考壓端連通的腔體。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：內(nèi)置在力敏元件殼體上部的所述大氣壓自動補償平衡腔室，包括薄膜型隔離膜和與帶有大氣壓引入孔的大氣參考壓端連通的壓帽，由夾膜密封墊片夾持固定的薄膜型隔離膜利用潤滑密封墊和壓帽壓封在力敏元件殼體上部的腔體內(nèi)，該腔體被薄膜型隔離膜分隔相互獨立的上、下兩部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：所述力敏元件采用硅藍寶石力敏元件，帶平衡腔室的硅藍寶石力敏元件殼體上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；硅藍寶石力敏元件利用作為力敏元件座的硅藍寶石力敏元件轉(zhuǎn)接座密封在帶平衡腔室的硅藍寶石力敏元件殼體的下部腔體內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：所述力敏元件采用擴散硅力敏元件，帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；擴散硅力敏元件利用感壓金屬膜片、導壓隔離介質(zhì)封裝在帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體的下部腔體內(nèi)，并在底部以作為膜片保護罩的擴散硅力敏元件轉(zhuǎn)接座進行密封。
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