[實(shí)用新型]外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420510131.X
• 申請(qǐng)日: 2014-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN204027754U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段祥照;賈文娟;劉爽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)市傳感技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01L9/00
• 分類號(hào): G01L9/00;G01L19/06
• 代理公司: 沈陽(yáng)科威專利代理有限責(zé)任公司 21101
• 代理人: 刁佩德

1.一種外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，包括帶有大氣參考?jí)憾说耐膺B電路板連接座，封裝有力敏元件殼體的傳感器外殼，膠接密封在外連電路板連接座與力敏元件殼體之間的空心電纜以及力敏元件的傳感引線，其特征在于：所述外連電路板連接座的大氣參考?jí)憾送庵脦в斜∧ば透綦x膜的大氣壓自動(dòng)補(bǔ)償平衡腔室；采用帶有鋼網(wǎng)的高壓膠管制成的空心電纜上端，通過上扣壓套與空心的上內(nèi)密封頭壓封在一起，空心電纜下端通過下扣壓套與空心的下內(nèi)密封頭壓封在一起，并使高壓膠管的鋼網(wǎng)與上、下扣壓套連接形成歐姆接觸的電磁屏蔽層，上內(nèi)密封頭與外連電路板連接座固定連接在一起，下內(nèi)密封頭固定連接在傳感器外殼上；在上、下內(nèi)密封頭的腔體和空心電纜的腔體內(nèi)設(shè)置毛細(xì)管，在毛細(xì)管的兩端連同傳感引線一起，用封口密封膠分別與外連電路板連接座和力敏元件殼體膠接密封，同時(shí)采用封口密封膠密封傳感引線的引出外連電路板連接座端，并使力敏元件殼體的腔體通過毛細(xì)管的腔體和外連電路板連接座的大氣參考?jí)憾饲惑w，與大氣壓自動(dòng)補(bǔ)償平衡腔室的腔室座的腔體一端相互連通，形成封閉的導(dǎo)壓腔，腔室座的腔體另一端與大氣壓引入孔連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：固定連接在外連電路板連接座上的所述大氣壓自動(dòng)補(bǔ)償平衡腔室，包括腔室座、薄膜型隔離膜和帶有大氣壓引入孔的壓帽，由夾膜密封墊片夾持固定的薄膜型隔離膜利用潤(rùn)滑密封墊和壓帽壓封在腔室座的腔體內(nèi)，腔室座的腔體被薄膜型隔離膜分隔相互獨(dú)立的兩部分，腔體的一端與外連電路板連接座的大氣參考?jí)憾饲惑w連通，腔體的另一端與大氣壓引入孔連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：所述力敏元件采用硅藍(lán)寶石力敏元件，下內(nèi)密封頭固定連接在與硅藍(lán)寶石力敏元件殼體合為一體的傳感器外殼上，硅藍(lán)寶石力敏元件利用力敏元件座密封在硅藍(lán)寶石力敏元件殼體的腔體內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：所述力敏元件采用擴(kuò)散硅力敏元件，下內(nèi)密封頭固定連接在內(nèi)置擴(kuò)散硅力敏元件殼體的傳感器外殼上，擴(kuò)散硅力敏元件利用感壓金屬膜片、導(dǎo)壓隔離介質(zhì)封裝在擴(kuò)散硅力敏元件殼體的腔體內(nèi)，并以擴(kuò)散硅力敏元件殼體上的密封環(huán)與底部帶有膜片保護(hù)罩的傳感器外殼密封在一起。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，其特征在于：所述傳感器外殼采用防腐外殼，空心電纜采用防腐電纜，防腐電纜上端通過上外膨脹密封頭和吊裝壓套與空心的上轉(zhuǎn)接密封頭壓封在一起，防腐電纜下端通過下內(nèi)膨脹密封頭壓封在防腐外殼的內(nèi)腔，上轉(zhuǎn)接密封頭與外連電路板連接座和吊裝壓套相互固定連接在一起；擴(kuò)散硅力敏元件利用感壓金屬膜片、防腐蝕介質(zhì)膜層和導(dǎo)壓隔離介質(zhì)封裝在擴(kuò)散硅力敏元件殼體的腔體內(nèi)，并以擴(kuò)散硅力敏元件殼體上的密封環(huán)密封在底部帶有防腐蝕保護(hù)罩的防腐外殼的腔體內(nèi)。