[實用新型]一種激光加工掃描光學系統

有效

• 申請號: 201420509563.9
• 申請日: 2014-09-05
• 公開（公告）號: CN204075510U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 趙建濤;肖磊;楊錦彬
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/082
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340
• 代理人: 楊暉瓊

1.一種激光加工掃描光學系統，其特征在于：該光學系統包括光探測器件組件、激光發射源、透鏡組件、第一45°反射鏡片(4)、第二45°反射鏡片(9)和掃描振鏡頭組件；?

所述激光發射源用于發出半導體激光束(22)，該半導體激光束(22)依次經過第一45°反射鏡片(4)、透鏡組件、第二45°反射鏡片(9)和掃描振鏡頭組件后，作用在待加工材料(26)上，并反射形成成像光束(21)，該成像光束(21)反應待加工材料(26)表面的圖像；同時還包括由外部進來的材料加工激光束(23)，透過第二45°反射鏡片(9)，并經過掃描振鏡頭組件后，也作用在待加工材料(26)上；?

所述成像光束(21)透過掃描振鏡頭組件，由第二45°反射鏡片(9)反射，并經過透鏡組件，到達光探測器件組件，光探測器件組件接收成像光束(21)。?

2.根據權利要求1所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述光探測器件組件包括筒體(11)、光探測器件(1)、小孔光闌(2)和衰減濾光片(3)，筒體(11)為一端封閉另一端敞開，其外圍圓周面沿徑向向外延伸形成圓柱形凸臺，作為激光入射通道，筒體(11)敞口端圓柱面上加工有外螺紋；其中筒體(11)內腔由封閉端向敞口端依次設置有光探測器件(1)、小孔光闌(2)和衰減濾光片(3)，光探測器件(1)、小孔光闌(2)和衰減濾光片(3)的中心皆位于筒體(11)的中心軸線上。?

3.根據權利要求2所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述光學系統還包括第一安裝調整架(12)、第二安裝調整架(13)和連接架(14)；透鏡組件包括第一透鏡(6)、第二透鏡(7)和第三透鏡(8)，第一透鏡(6)、第二透鏡(7)和第三透鏡(8)由上至下依次設置，第一45°反射鏡片(4)和第一透鏡(6)依次設置在筒體(11)內腔并位于衰減濾光片(3)下方，且兩者中心也位于筒體(11)的中心軸線上；?

第一安裝調整架(12)內壁的上下兩端均加工有螺紋，其內腔安裝第二?透鏡(7)；第二安裝調整架(13)圓周面上端加工有外螺紋，其內腔安裝第三透鏡(8)；第一安裝調整架(12)內壁的上下兩端分別與筒體(11)和第二安裝調整架(13)通過螺紋配合。?

4.根據權利要求3所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述連接架(14)為矩形框架結構，其相對兩個側面中心加工有通孔形成光束通道；連接架(14)上表面與第二安裝調整架(13)下端固連，內腔安裝有第二45°反射鏡片(9)，且通過其側面與掃描振鏡頭組件連接。?

5.根據權利要求4所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述掃描振鏡頭組件包括鏡架、第一掃描振鏡片(33)和第二掃描振鏡片(34)、第一電機(35)、第二電機(36)和掃描鏡頭(37)；其中鏡架由基板(41)、電機固定板(42)和安裝板(43)組成，基板(41)上加工有通孔，其上表面兩端對稱設置有電機固定板(42)和安裝板(43)，安裝板(43)上分別加工有與連接架(14)的光束通道相連通的光束通孔(31)；?

電機固定板(42)上安裝第二電機(36)，第一電機(35)垂直的設置在第二電機(36)上，兩個電機分別驅動第一掃描振鏡片(33)和第二掃描振鏡片(34)，第一掃描振鏡片(33)和第二掃描振鏡片(34)位于基板(41)通孔上方并與光束通孔(31)位置相對應，基板(41)通孔下方設置有掃描鏡頭(37)，掃描鏡頭(37)下方為掃描鏡頭焦點(24)。?

6.根據權利要求2所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述激光發射源采用半導體激光器(5)，其設置在筒體(11)的圓柱形凸臺內腔，并位于第一45°反射鏡片(4)的一側且兩者中心連線與筒體(11)中心軸線垂直。?

7.根據權利要求1所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述激光發射源發出的半導體激光束(22)波長為300nm～970nm，材料加工激光束(23)的波長為300nm～1600nm。?

8.根據權利要求5所述的激光加工掃描光學系統，其特征在于：所述?掃描鏡頭(37)的焦距范圍為25mm～400mm。?