[實用新型]薄膜沉積設(shè)備及其基材傳輸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420509410.4
• 申請日: 2014-09-04
• 公開（公告）號: CN204078871U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王祥慧
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽拓荊科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 劉鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及薄膜沉積領(lǐng)域，特別是涉及薄膜沉積設(shè)備及其基材傳輸裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體基材(例如但不限于，晶圓)在越來越多的領(lǐng)域，如集成電路、太陽能、發(fā)光二極管、及光波導(dǎo)等被廣泛應(yīng)用。為半導(dǎo)體基材實施薄膜沉積的薄膜沉積設(shè)備通常包含前端模塊、裝載室、基材傳輸室及反應(yīng)室。待實施薄膜沉積的基材從前端模塊經(jīng)裝載室傳輸?shù)交膫鬏斒以賯鬏斨练磻?yīng)室進(jìn)行薄膜沉積。基材傳輸室內(nèi)可設(shè)有雙層雙機械手臂，每次可傳輸兩片基材至反應(yīng)室。對應(yīng)基材傳輸室，反應(yīng)室內(nèi)工位呈環(huán)形均勻分布，且工位可旋轉(zhuǎn)以便基材傳輸室的機械手臂可將基材放置相應(yīng)的空工位上或自工位上取走基材。為保證已放置的基材不掉落，反應(yīng)室內(nèi)工位旋轉(zhuǎn)較慢，需較長的時間才能在所有工位上放滿或取完基材，基材傳輸效率較低。

因此，盡管薄膜沉積設(shè)備由單反應(yīng)室改為多反應(yīng)室可在一定程度上提高產(chǎn)能，然半導(dǎo)體基材的大規(guī)模生產(chǎn)仍受制于基材傳輸效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的之一在于提供一薄膜沉積設(shè)備及其基材傳輸裝置，該薄膜沉積設(shè)備及其基材傳輸裝置可不依賴于基材工位的回轉(zhuǎn)而同時實施多片基材傳輸。

本實用新型的一實施例提供一用于薄膜沉積設(shè)備的基材傳輸裝置，其包含：設(shè)置于一傳輸室的若干機械手臂，及設(shè)置于至少一反應(yīng)室的若干基材工位。其中若干機械手臂與至少一反應(yīng)室內(nèi)的基材工位對應(yīng)，以將基材放置至所述至少一反應(yīng)室內(nèi)相對應(yīng)的基材工位或自相對應(yīng)的基材工位上取走基材。

在本實用新型的一實施例中，所述至少一反應(yīng)室內(nèi)的基材工位呈陣列分布，該陣列是，例如但不限于，2×2或2×3陣列。所述至少一反應(yīng)室內(nèi)的基材工位中與傳輸室距離相同的基材工位組成一基材工位組，若干機械手臂中對應(yīng)于該基材工位組的機械手臂組成一機械手臂組，該機械手臂組連接同一回轉(zhuǎn)機構(gòu)。對應(yīng)于距離傳輸室較遠(yuǎn)的基材工位組的機械手臂組的機械手臂相較于對應(yīng)于距離傳輸室較遠(yuǎn)的基材工位組的機械手臂組的機械手臂更長。

在另一實施例中，若干機械手臂呈上下多層分布，不同機械手臂組位于不同層。不同回轉(zhuǎn)機構(gòu)可獨立旋轉(zhuǎn)和伸展。所述至少一反應(yīng)室內(nèi)的基材工位沒有連接回轉(zhuǎn)機構(gòu)。該傳輸裝置可進(jìn)一步包含一處理器，該處理器控制若干機械手臂放置基材至所述至少一反應(yīng)室內(nèi)相對應(yīng)的基材工位或自相對應(yīng)的基材工位上取走基材的順序，及當(dāng)存在多個反應(yīng)室時，控制所述若干機械手臂在不同反應(yīng)室中傳送基材的順序。

在本實用新型又一實施例中，基材傳輸裝置所傳輸?shù)幕氖蔷A。

本實用新型的實施例還提供包含上述基材傳輸裝置的薄膜沉積設(shè)備。

根據(jù)本實用新型實施例的薄膜沉積設(shè)備及其基材傳輸裝置可節(jié)省反應(yīng)室內(nèi)用于基材工位的回轉(zhuǎn)機構(gòu)，在節(jié)省成本的同時，可提高設(shè)備的穩(wěn)定性和基材傳輸?shù)男省?/p>

附圖說明

圖1所示是根據(jù)本實用新型一實施例的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置處于待工作狀態(tài)

圖2所示是圖1中的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置的第一機械手臂組處于取/放操作狀態(tài)

圖3所示是圖1中的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置的第二機械手臂組處于取/放操作狀態(tài)

圖4所示是根據(jù)本實用新型另一實施例的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置處于待工作狀態(tài)

圖5所示是圖4中的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置的第一機械手臂組處于取/放操作狀態(tài)

圖6所示是圖4中的薄膜沉積設(shè)備的俯視圖，其中基材傳輸裝置的第二機械手臂組處于取/放操作狀態(tài)

具體實施方式

為更好的理解本實用新型的精神，以下結(jié)合本實用新型的部分優(yōu)選實施例對其作進(jìn)一步說明。

現(xiàn)有薄膜沉積設(shè)備中的基材傳輸裝置是依賴于基材傳輸室內(nèi)的機械手臂和反應(yīng)室旋轉(zhuǎn)的基材工位協(xié)同完成基材傳輸?shù)模膫鬏數(shù)男嗜Q于機械手臂的工作速度和基材工位的旋轉(zhuǎn)速度。而為避免其上的基材摔落，反應(yīng)室內(nèi)基材工位的旋轉(zhuǎn)速度需維持低速。這種情況下，即使基材傳輸室掛接多個反應(yīng)室，因基材傳輸效率的限制，整個薄膜沉積設(shè)備的生產(chǎn)效率仍有大幅度提高的空間。