[實用新型]掃描電鏡用免導電膠試樣座

有效

• 申請號: 201420502418.8
• 申請日: 2014-09-02
• 公開（公告）號: CN204029761U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 張彥文;徐國濤;王志奮;吳立新;陳士華;許竹桃
• 申請（專利權）人: 武漢鋼鐵（集團）公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 武漢開元知識產權代理有限公司 42104
• 代理人: 胡鎮西

技術領域

本實用新型涉及掃描電鏡實驗室中的設備，具體地指與掃描電鏡配合使用的一種掃描電鏡用免導電膠試樣座。

背景技術

掃描電鏡實驗室實驗中，常常需要對試樣進行鑲嵌以及磨制等處理，然后進行觀察分析。有些試樣是導電的，但鑲嵌樹脂導電性不夠好，會影響掃描電鏡的成像效果，因此常常用導電膠將試樣與樣品臺連接起來，以防止試樣上電荷積累。一些非金屬材料，本身就不導電，分析時，除了表面要噴碳、噴金外，也還要用導電膠把噴碳或噴金表面與樣品臺連接起來。但導電膠是消耗品，成本高昂，而且廢棄的導電膠容易掉進樣品臺的傳動軸，也常常會引起機械故障。此外，樣品臺表面是平面，鑲嵌試樣或其它類型底部近似平面的試樣，直接放到樣品臺上，也常常會因為電子轟擊導致底部的微小震動，引起圖片的不清晰，影響掃描準確性。

發明內容

本實用新型的目的就是要克服現有掃描電鏡試樣座的缺陷，提供一種能夠提高試樣導電性能，進而提高掃描準確性，降低試驗成本的掃描電鏡用免導電膠試樣座。

為實現上述目的，本實用新型所設計的掃描電鏡用免導電膠試樣座，包括試樣座基座，其特殊之處在于：所述試樣座基座邊緣環繞設置有滑道，所述滑道中設置有可沿滑道滑動的滑塊，所述滑塊頂面設置有金屬桿，所述金屬桿頂端設置有導電金屬鏈，所述導電金屬鏈一端與金屬桿頂端連接，所述導電金屬鏈另一端設置有銅片與試樣接觸；所述試樣座基座的試樣承載面設置有若干錐形支架，所述錐形支架均勻布置在試樣座基座底部。

進一步地，所述金屬桿可沿長度方向伸縮活動。這樣，金屬桿可以根據所掃描試樣的實際高度調整高度，便于導電金屬鏈與試樣接觸。

進一步地，所述錐形支架設置有三個，其連線呈三角形布置在試樣座基座的試樣承載面。這樣，可以提高試樣放置在試樣座基座上的穩定性，防止晃動影響掃描結果。

本實用新型的優點在于：所設計的掃描電鏡用免導電膠試樣座具有結構簡單、操作便捷、降低成本等特點，其上設置的金屬桿以及與金屬桿配合使用的導電金屬鏈實現了試樣座與試樣的導電，減少了試驗準備工序，杜絕了因使用導電膠而引起的一系列故障；利用試樣座基座底部設置的錐形支架支撐試樣，可有效避免用平面支撐時因試樣底部的細微不平造成的震動，影響試驗數據；本設計在有效提高試驗掃描準確性的同時，大幅降低了試驗成本，具有良好的市場前景。

附圖說明

圖1是本實用新型掃描電鏡用免導電膠試樣座的結構示意圖。

圖中：滑道1；試樣座基座2；滑塊3；金屬桿4；導電金屬鏈5；銅片6；錐形支架7。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。

圖中所示的掃描電鏡用免導電膠試樣座，包括試樣座基座2，試樣座基座2邊緣環繞設置有滑道1，滑道1中設置有可沿滑道1滑動的滑塊3，滑塊3頂面設置有金屬桿4，金屬桿4可沿長度方向伸縮活動，并且根據需要可沿滑道繞試樣作360°旋轉；金屬桿4頂端安裝有一條長約20mm的導電金屬鏈5，導電金屬鏈5可以靈活彎曲，其一端與金屬桿4頂端連接，另一端設置有銅片6與試樣接觸；試樣座基座2的試樣承載面設置有三個錐形支架7，錐形支架7呈三角形均勻布置在試樣座基座2的試樣承載面。

該掃描電鏡用免導電膠試樣座，使用步驟如下：

1.將試樣放置在試樣座基座2上的錐形支架7；

2.滑動金屬桿4下部滑塊3，使其到達需要位置；

3.調節金屬桿4的高度，使其與試樣高度大致相同；

4.將導電金屬鏈5端部的銅片6放置于待測試樣邊緣，使試樣與試樣座基座2導通；

5.將試樣放入掃描電鏡試樣室，抽真空后，加高壓后進行掃描觀察等操作。