[實用新型]一種輔助硅片插片的裝置

有效

• 申請號: 201420502377.2
• 申請日: 2014-09-02
• 公開（公告）號: CN204029838U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 李建朋;劉紅明;吳成新;李永洋;張繼偉;王永
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種輔助硅片插片的裝置，其特征在于，包括橫梁(1)、豎梁(2)、橫向移動裝置、載片盒(3)、伸縮裝置及吸盤(4)；所述橫向移動裝置設置在所述橫梁(1)的下方，具有能夠沿所述橫梁移動的移動塊；所述伸縮裝置的固定端連接所述移動塊，伸縮端連接所述吸盤(4)；所述豎梁(2)豎直安裝在所述橫梁(1)的一端，所述載片盒(3)固定在所述豎梁(2)的一側并位于所述橫梁(1)的下方；所述載片盒(3)內具有傳感器(5)、噴氣嘴(6)、托片盤(7)和升降裝置，所述傳感器(5)和所述噴氣嘴(6)均位于所述載片盒(3)的上邊緣的內側，所述升降裝置能夠控制所述托片盤(7)在所述載片盒(3)內上下移動。

2.如權利要求1所述的輔助硅片插片的裝置，其特征在于，所述橫向移動裝置包括第一絲杠(8)及第一電機(9)，所述第一絲杠(8)沿所述橫梁(1)設置，所述移動塊與所述第一絲杠(8)配合，所述第一電機(9)驅動所述第一絲杠(8)往復轉動時能夠使所述移動塊沿所述第一絲杠(8)往返移動。

3.如權利要求2所述的輔助硅片插片的裝置，其特征在于，所述升降裝置包括第二絲杠(10)及第二電機(11)，所述第二絲杠(10)豎直設置，所述托片盤(7)的安裝端與所述第二絲杠(10)配合，所述第二電機(11)驅動所述第二絲杠(10)往復轉動時能夠使所述托片盤(7)沿所述第二絲杠(10)上下移動。

4.如權利要求3所述的輔助硅片插片的裝置，其特征在于，所述伸縮裝置為伸縮缸(12)。

5.如權利要求4所述的輔助硅片插片的裝置，其特征在于，所述載片盒(3)具有至少一個所述噴氣嘴(6)。

6.如權利要求5所述的輔助硅片插片的裝置，其特征在于，所述載片盒(3)具有兩個所述噴氣嘴(6)，兩個所述噴氣嘴(6)分別設置在所述載片盒(3)的兩個相對的上邊緣的內側。