[實用新型]超音波清潔裝置

有效

• 申請號: 201420499535.3
• 申請日: 2014-09-01
• 公開（公告）號: CN204107886U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 林永強
• 申請（專利權）人: 朗曦科技股份有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

技術領域

本實用新型與清潔裝置有關，特別是一種超音波清潔裝置，其適用于板材的清潔作業。

背景技術

對于板材而言，如晶圓或玻璃基板，一般的清洗過程包含有干式及濕式。對于干式清洗而言，透過紫外光(UV?light)照射板材使得附著于板材的有機物質可以與氧反應產生一氧化碳、二氧化碳或水汽飄散置空氣中而去除。而對于濕式清洗，主要利用刷子搭配純水或洗劑，除去板材上的微粒污染、有機物污染和離子污染等問題。其原理是利用刷子進行板材清洗，可讓刷毛將表面附著的微粒刷除。然而，無論是毛刷如何配置，對于板材仍存污染殘存的問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的是改善上述板材污染殘存的問題，而提供一種超音波清潔裝置。

本實用新型提供一種超音波清潔裝置，包括一驅動軸，其受外力驅動旋轉；一刷體固接該驅動軸，而受該驅動軸驅使轉動；以及一超音波產生器，連接該驅動軸，該超音波產生器產生超音波并傳遞超音波至該驅動軸，再由該驅動軸將超音波傳遞至該刷體。

其中，該刷體套設在該驅動軸上，并沿著該驅動軸設置。

其中，該刷體的外表面分布多個孔洞。

其中，該刷體固接該驅動軸一端。

本實用新型的有益效果：通過本實用新型中驅動軸驅動刷體進行板材清潔，加上超音波產生器產生超音波傳遞至刷體，可以增強刷體對于板材的清潔效果。

附圖說明

圖1是本實用新型第一實施例的立體示意圖。

圖2是本實用新型第一實施例的示意圖。

圖3是本實用新型第二實施例的示意圖。

圖4是本實用新型第三實施例的示意圖。

【符號說明】

11驅動軸?????12刷體

121孔洞??????????13超音波產生器

具體實施方式

請參閱圖1、圖2，本實用新型第一實施例所提供的超音波清潔裝置，包括：一驅動軸11、一刷體12和一超音波產生器13。

該驅動軸11，呈圓柱狀。該驅動軸11，其受外力驅動旋轉，如馬達驅動。

該刷體12固接該驅動軸11，而受該驅動軸11驅使轉動。須說明的是，在本實施例中，該刷體12套設在該驅動軸11上，并沿著該驅動軸11設置。

該超音波產生器13，連接該驅動軸11，該超音波產生器13產生超音波并傳遞超音波至該驅動軸11，再由該驅動軸11將超音波傳遞至該刷體12。

除此之外，請參閱圖3，本實用新型第二實施例所提供的超音波清潔裝置，與第一實施例不同的是，該刷體12由撓性材料制作而成，如塑料、橡膠、海綿或布料等，而該刷體12的外表面分布多個孔洞121。在使用時，被該刷體12所移除的板材表面雜質可進入各孔洞121而增強板材清潔的效果。

再來，請參閱圖4，本實用新型第三實施例所提供的超音波清潔裝置，其中該刷體12，固接該驅動軸11一端，而受該驅動軸11驅動旋轉。

于進行清洗板材作業時，本實用新型提供的超音波清潔裝置，其驅動軸11驅動該刷體12旋轉，該刷體12接觸板材后進行清洗作業。該超音波產生器13產生超音波，該超音波產生器13產生超音波并傳遞超音波至該驅動軸11，再由該驅動軸11將超音波傳遞至該刷體12。由此，本實用新型中驅動軸11驅動刷體12進行板材清潔，加上超音波產生器產生超音波傳遞至刷體12，可以增強刷體12對于板材的清潔效果，以減少板材污染殘存的問題。