[實用新型]超純硫酸量產系統

有效

• 申請號: 201420498973.8
• 申請日: 2014-08-31
• 公開（公告）號: CN204162419U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 李冀庚;張恒昌;戴明
• 申請（專利權）人: 天津渤大硫酸工業有限公司
• 主分類號: C01B17/74
• 分類號: C01B17/74
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及化工技術領域，尤其涉及一種超純硫酸量產系統。

背景技術

隨著電子工業的發展，超純硫酸的研制和生產亦快速發展。超純硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷電路板的腐蝕和清洗。超純硫酸一般采用蒸餾工藝生產，此工藝不能實現大規模生產，環境污染大和生產危險度高。另一種方法是：三氧化硫直接吸收工藝，該工藝目前我國尚無先例。為解決上述問題，特研發出一種超純硫酸量產系統。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種超純硫酸量產系統。

本實用新型的技術方案為：一種超純硫酸量產系統，由吸收塔、酸冷器、SO₂脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲罐、循環罐、超純水制備機和超純酸儲罐組成，所述吸收塔的上端分別通過管路與酸冷器和SO₂脫析罐連通，所述吸收塔的底端通過管路與循環罐連通，所述吸收塔上設有去風機進口和三氧化硫進口，所述去風機進口位于吸收塔的頂端，所述三氧化硫進口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通過管路與循環罐連通，所述酸冷器與循環罐之間的管路上設有第一循環泵，所述循環罐分別與雙氧水儲罐和超純水制備機通過管路連通，所述循環罐與雙氧水儲罐之間的管路上設有雙氧水計量泵，所述SO₂脫析罐的上端通過管路與緩沖罐連通，所述SO₂脫析罐的底端通過管路與超純酸儲罐連通，所述SO₂脫析罐與超純酸儲罐之間的管路上設有第二循環泵，所述SO₂脫析罐的頂端設有脫析罐排氣口，所述超純酸儲罐的頂部設有純酸儲罐排氣口，所述緩沖罐的一端設有真空泵，所述緩沖罐與真空泵通過管路連通，所述超純酸儲罐上設有輸出口。

進一步，所述吸收塔、酸冷器、SO₂脫析罐、緩沖罐、循環罐和超純酸儲罐內層均設有氟聚合物層。

進一步，所述吸收塔采用燭式多級過濾器過濾。

進一步，所述酸冷器為蝶片式酸冷器，所述酸冷器上設有若干條循環水管路。

再進一步，所述脫析罐排氣口上設有第一空氣過濾器。

再進一步，所述純酸儲罐排氣口上設有第二空氣過濾器。

本實用新型的有益效果在于：該超純硫酸量產系統安全可靠，無環境污染，可實現大規模生產，為企業創造經濟效益，可在硫酸行業推廣使用。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖。

其中：1、吸收塔?????2、酸冷器?????????????3、SO₂脫析罐

4、第一空氣過濾器???5、緩沖罐?????????????6、真空泵

7、雙氧水儲罐???????8、雙氧水計量泵???????9、循環罐

10、第一循環泵??????11、超純水制備機??????12、第二循環泵

13、超純酸儲罐??????14、第二空氣過濾器????15、去風機進口

16、三氧化硫進口????17、循環水管路????????18、脫析罐排氣口

19、輸出口??????????20、純酸儲罐排氣口

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做出簡要說明。

如圖1所示一種超純硫酸量產系統，由吸收塔1、酸冷器2、SO₂脫析罐3、緩沖罐5、雙氧水儲罐7、循環罐9、超純水制備機11和超純酸儲罐13組成，所述吸收塔1的上端分別通過管路與酸冷器2和SO₂脫析罐3連通，所述吸收塔1的底端通過管路與循環罐9連通，所述吸收塔1上設有去風機進口15和三氧化硫進口16，所述去風機進口15位于吸收塔1的頂端，所述三氧化硫進口16位于吸收塔1的底端，所述酸冷器2的底端通過管路與循環罐9連通，所述酸冷器2與循環罐9之間的管路上設有第一循環泵10，所述循環罐9分別與雙氧水儲罐7和超純水制備機11通過管路連通，所述循環罐9與雙氧水儲罐7之間的管路上設有雙氧水計量泵8，所述SO₂脫析罐3的上端通過管路與緩沖罐5連通，所述SO₂脫析罐3的底端通過管路與超純酸儲罐13連通，所述SO₂脫析罐3與超純酸儲罐13之間的管路上設有第二循環泵12，所述SO₂脫析罐3的頂端設有脫析罐排氣口18，所述超純酸儲罐13的頂部設有純酸儲罐排氣口20，所述緩沖罐5的一端設有真空泵6，所述緩沖罐5與真空泵6通過管路連通，所述超純酸儲罐13上設有輸出口19。