[實用新型]一種等離子體多波長雜質光譜監測裝置

有效

• 申請號: 201420496603.0
• 申請日: 2014-08-30
• 公開（公告）號: CN204085695U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 符佳;李穎穎;呂波
• 申請（專利權）人: 中國科學院等離子體物理研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種等離子體多波長雜質光譜監測裝置，其特征在于：包括有集光鏡頭、多波長分光系統、光譜儀、采集系統，所述多波長分光系統由入射光耦合鏡頭、出射光耦合鏡頭、多組體布拉格光柵、多組采集用耦合鏡頭構成，多組體布拉格光柵設置在入射光耦合鏡頭與出射光耦合鏡頭之間，且入射光耦合鏡頭、出射光耦合鏡頭、多組體布拉格光柵沿一字排列，多組采集用耦合鏡頭一一對應設置在多組體布拉格光柵的衍射光偏轉光路上，所述集光鏡頭通過導光光纖耦合至多波長分光系統中入射光耦合鏡頭，所述光譜儀通過導光光纖與多波長分光系統中出射光耦合鏡頭耦合，所述采集系統電連接有多組光電探測器，且多組光電探測器一一對應與多組采集用耦合鏡頭耦合。

2.根據權利要求1所述的一種等離子體多波長雜質光譜監測裝置，其特征在于：所述集光鏡頭、入射光耦合鏡頭、出射光耦合鏡頭、采集用耦合鏡頭分別為透鏡。

3.根據權利要求1所述的一種等離子體多波長雜質光譜監測裝置，其特征在于：所述體布拉格光柵為透/反射式體布拉格光柵。

4.根據權利要求1所述的一種等離子體多波長雜質光譜監測裝置，其特征在于：所述光電探測器為光電倍增管，或者是雪崩二極管。