[實用新型]一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置

有效

• 申請號: 201420491658.2
• 申請日: 2014-08-29
• 公開（公告）號: CN204149032U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 卓元
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅集團有限責任公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00;B08B9/032
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術領域

本實用新型屬于單晶硅拋光片生產技術領域，主要涉及一種拋光機拋光液供應管路。

背景技術

單晶硅拋光片是IC行業的基礎材料，而拋光機是生產拋光片不可或缺的主要設備之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生產的SPM-19型拋光機在目前國內的單晶硅拋光片制造廠商中得到廣泛使用。該型拋光機采用化學機械拋光方式實現對單晶硅片表面的拋光處理，在工作過程中必須保證化學腐蝕速率與機械去除速率完全匹配。因此拋光液的供應狀態對于單晶硅拋光片（以下簡稱硅片）的產品質量具有極其重要的影響。

在拋光生產過程中，拋光液供應系統通過主轉盤中心供液口向主轉盤持續供應拋光液。此時，一方面要求拋光液以工藝設定的溫度、流量穩定地向主轉盤供應，以保證對硅片表面化學腐蝕作用的均勻性；同時要求拋光液始終保持較高潔凈度，以免對硅片表面造成二次污染或其它損傷。然而在實際運行過程中我們發現，SPM-19型拋光機的拋光液管路存在以下突出問題：

拋光液過濾器出口至主轉盤中心供液口之間管路較長，并且分布著較多諸如流量計、測溫探頭等零部件及彎頭、三通、單向閥等管件。當拋光液停止供應后，上述管路、零部件及管件中會積存大量拋光液；隨著時間推移，這部分拋光液逐漸沉積在管壁及零部件、管件內部，形成難以清除的固態結晶體，從而引發一系列故障：

1、結晶導致拋光液管路內徑變窄甚至完全堵塞，無法保證拋光液的供應流量；

2、結晶導致流量計、測溫探頭、單向閥等零部件狀態不穩定甚至整個元器件失靈，對工藝及設備的可靠性造成極大威脅。

3、結晶體為固態且狀態不穩定，其中一部分會混入拋光液中并隨拋光液一同流向主轉盤，污染拋光布并對拋光硅片表面質量形成威脅。

實用新型內容

鑒于現有技術中所存在的實際問題，本實用新型設計并公開了一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置；在不改變現有拋光液供應方式的前提下，通過使用純水反沖拋光液管路，清除殘余拋光液，避免結晶生成，以解決上述因管路內部拋光液結晶而引發的一系列問題。

為實現上述實用新型目的，本實用新型采取的具體技術方案是：一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置，主要由、三通接頭、純水供應球閥、純水流量計和單向閥構成。其中，在原拋光液管路中拋光液供給球閥出口處將管路截斷，加裝三通接頭。該接頭中的第一個支路通過單向閥與拋光液供給球閥出口連接；第二個支路通過單向閥、純水流量計、純水供應球閥與純水供應管道連接；第三個支路與拋光機內部拋光液管路連接。當拋光機正常工作時，將第二個支路中的純水供應球閥關閉，第一個支路中的拋光液供給球閥打開，拋光液按固有方式供應；當拋光機空閑時，可根據需要進行純水反沖，此時將第一個支路中的拋光液供給球閥關閉，將第二個支路中的純水供應球閥打開，純水反沖開始。待反沖過程結束后，再將第二個支路中的純水供應球閥關閉，第一個支路中的拋光液供給球閥打開，拋光機正常待機。

?本實用新型公開的拋光液管路純水反沖裝置結構簡單，安裝操作方便，安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機拋光液管路中結晶的形成，降低了設備故障率，增強了工藝穩定性，明顯地提高了產品收率。

附圖說明：

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、純水供應球閥；2、純水流量計；3、單向閥；4、三通接頭；5、單向閥；6、拋光液供給球閥；7、純水供應管道；8、內部拋光液管路。

具體實施方式

下面結合附圖給出本實用新型的實施方式如下：

如圖1所示，本實用新型所述的一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置，主要由純水供應球閥1、純水流量計2、單向閥3、三通接頭4、單向閥5構成，其中純水供應球閥1為PVDF材質，控制純水通斷，其出口與純水流量計2進口聯接；純水流量計2用來顯示反沖時的純水流量，其出口與單向閥3的進口聯接；單向閥3的作用是保證純水定向流入拋光機，防止拋光液串入純水管路，單向閥3的出口與三通接頭4聯接；與之同理，單向閥5的作用是保證拋光液只能按一定方向流入拋光機，防止純水串入拋光液管路，其出口同樣與三通接頭4聯接；三通接頭4的作用是將純水反沖裝置、拋光液供應系統與拋光機內部管路聯接起來。

純水反沖的具體操作步驟如下：首先將拋光液供給球閥6關閉，然后將純水供應球閥1打開，使用拋光機操作模式切換開關將拋光機置于“手動”操作模式，將觸摸屏上“拋光液高流量供應”、“拋光液低流量供應”及“拋光液排放”按鍵同時點亮，調節純水流量至16L/min，使純水沖入拋光機內部拋光液管路，將殘余拋光液徹底沖入排放管道。5分鐘后，待殘余拋光液被沖洗干凈，將上述觸摸屏選項全部取消，將純水供應球閥1關閉，使用拋光機操作模式切換開關將拋光機置于“自動”操作模式，將拋光機切換回自動狀態，反沖過程結束。