[實用新型]一種基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置有效
| 申請號： | 201420491525.5 | 申請日： | 2014-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN204177342U | 公開（公告）日： | 2015-02-25 |
| 發明（設計）人： | 單明廣;鐘志;白鴻一 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工程大學 |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 反射光柵 相移 衍射 干涉 檢測 裝置 | ||
1.一種基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，包括光源(1)、準直擴束系統(2)、窗口(3)、待測物體(4)、第一透鏡(5)、非偏振分光棱鏡(6)、反射光柵(7)、小孔反射鏡(8)、第二透鏡(9)、圖像傳感器(10)，其特征在于：光源(1)發射的光束經準直擴束系統(2)準直擴束后的出射光束經過窗口(3)、待測物體(4)后入射至第一透鏡(5)，經第一透鏡(5)聚焦后的光束被非偏振分光棱鏡(6)分成一束參考光和一束物光；參考光照射在小孔反射鏡(8)上，物光照射在反射光柵(7)上；經過反射的物光和參考光再次經過非偏振分光棱鏡(6)后匯合成一束光束后，經第二透鏡(9)后生成干涉圖，同時被圖像傳感器(10)采集到計算機中。?
2.根據權利要求1所述的一種基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，其特征在于：所述的小孔反射鏡(8)位于第一透鏡(5)的焦平面上，所述的反射光柵(7)位于第二透鏡(9)的焦平面上。?
3.根據權利要求1或2所述的一種基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，其特征在于：所述的反射光柵(7)可進行橫向微小移動以產生相移。?
4.根據權利要求1或2所述的基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，其特征在于：所述的反射光柵(7)的+1衍射級光被用于生成干涉圖。?
5.根據權利要求1或2所述的基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，其特征在于：所述小孔反射鏡(10)的反射區域直徑為dp≤1.22λf1/D，其中，λ為光源(1)波長，f1為第一透鏡(5)的焦距，D為窗口(3)的直徑。?
6.根據權利要求1所述的基于反射光柵的相移點衍射干涉檢測裝置，其特征在于：所述的待測物體(4)和第一透鏡(5)之間還可以依次放置顯微物鏡(11)和校正物鏡(12)。?
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