[實用新型]手動旋轉(zhuǎn)式單邊開合光罩盒的工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420491402.1
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN204161792U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王松
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: B65D43/26
• 分類號: B65D43/26
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 吳俊

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種輔助光罩盒開合的工具，尤其涉及一種手動式旋轉(zhuǎn)單邊開合光罩盒的工具。?

背景技術(shù)

隨著電子產(chǎn)品朝著輕薄短小、高頻、高效能方向發(fā)展，使得芯片上集成電路線徑越來越輕微細(xì)化。由于芯片上集成電路線徑的輕微細(xì)化成敗主要在于半導(dǎo)體工藝中的黃光微影工藝技術(shù)，其關(guān)鍵設(shè)備是在于光罩；藉此，一種安全性更高的光罩盒隨著其需求而出現(xiàn)，隨著光罩盒的出現(xiàn)，光罩盒的打開是工程師們面臨的一技術(shù)問題。?

目前機(jī)臺端的開合光罩盒承載裝置和自動開光罩盒機(jī)臺設(shè)置有兩組壓力傳感器，光罩盒必須同時壓住兩邊兩組傳感器，才能正常開啟和閉合。但是在實際使用中，經(jīng)常會出現(xiàn)各自情況導(dǎo)致光罩盒無法正常開啟或關(guān)閉，例如：1、當(dāng)出現(xiàn)人為從機(jī)器取光罩盒在機(jī)器閉合蓋子的過程中，關(guān)閉卡閉合一邊，而另一邊卻沒有合上，導(dǎo)致光罩盒無法正常開啟，如果強行開啟會導(dǎo)致光罩盒破損；2、由于光罩盒內(nèi)部器件脫落導(dǎo)致盒子關(guān)閉異常；3、自動開光罩盒機(jī)臺不能正常工作，而此時需要清理光罩上顆粒。當(dāng)遇到上述問題之一時，工程師都只能用手將光罩盒子打開，但是這種方式效率低下，而且工程師在打開的過程中還存在很高的風(fēng)險。?

實用新型內(nèi)容

本實用新型針對目前光罩盒開合異常時，需要采取手動取出時，產(chǎn)生的不方便性和高風(fēng)險性等技術(shù)問題，設(shè)計了一種手動旋轉(zhuǎn)式單邊開合光罩盒的工具，即通過在底座下方安裝一臺面，臺面上設(shè)置有與底座上固定凹槽匹配的固定頂角(需要注意的是，此處的匹配不僅使得固定頂角與固定凹槽形狀、尺寸上的匹配，還包括數(shù)量、設(shè)置的位置及其之間的距離、排列方式等條件的匹配，也可設(shè)置多個固定頂角以適應(yīng)不同類型、規(guī)格晶圓盒的需求，但無論設(shè)置方式及相關(guān)參數(shù)如何設(shè)定，需確保使得晶圓盒在進(jìn)行開啟或閉合操作時，均固定在該固定頂角上即可)，以固定光罩盒的底座；同時，該臺面上還設(shè)置有若干個(如3個等)固定擋板，以固定光罩盒的蓋子，進(jìn)一步的增強在進(jìn)行光罩盒的開啟或閉合操作時，光罩盒相對于臺面的固定性能；而設(shè)定的轉(zhuǎn)動軸則鑲嵌并貫穿于臺面的頂端(也可根據(jù)具體的晶圓盒類型及不同的工藝需求，設(shè)置于其他的合適的位置)，使得臺面固定在該轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)子上(在實際的應(yīng)用操作中，也可根據(jù)需求將臺面與轉(zhuǎn)動軸的定子固定連接，相應(yīng)的與后續(xù)連動軸及固定帶也要進(jìn)行適應(yīng)性的改動，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可參見本實用新型記載的實施例根據(jù)公知知識進(jìn)行實現(xiàn)，在此便不予累述)，且該轉(zhuǎn)動軸的底端部的表面還可固定在一用于固定的平面上(如操作臺等相對于地面不易移動的設(shè)備等)，在起到支撐上述臺面及放置于臺面上等待打開或閉合的晶圓盒，還能使得臺面能夠相對于該轉(zhuǎn)動軸的定子轉(zhuǎn)動，進(jìn)而為后續(xù)打開或閉?合晶圓盒提供動力；上述的轉(zhuǎn)動軸的定子通過固定帶與設(shè)置在臺面上的固定連桿連接，且該固定連桿的兩端部上設(shè)置有尖端在上錐形的定位銷，在臺面相對于定子轉(zhuǎn)動時，由于固定帶固定在該定子上，使得該固定帶產(chǎn)生一個拉力，進(jìn)而帶動固定連桿在臺面上趨向轉(zhuǎn)動軸運動，而定位銷又卡接在蓋子上的卡扣，進(jìn)而使得該卡扣卡接在位于底座的卡柱上，或者使得已經(jīng)卡接在卡柱上的卡扣從該卡柱上松開，以實現(xiàn)對晶圓盒的閉合或開啟動作。?

本實用新型的技術(shù)方案為：?

一種手動旋轉(zhuǎn)式單邊開合光罩盒的工具，其中，所述光罩盒包括底座、盒體和蓋子，所述盒體固定設(shè)置于所述底座上，所述蓋子上設(shè)置有卡扣，所述底座的底部設(shè)置有卡柱；所述卡扣卡接所述卡柱，以將所述蓋子固定在所述盒體上；所述工具包括：?

臺面，表面上設(shè)置有固定頂角，所述固定頂角用于固定所述底座；?

轉(zhuǎn)動軸，貫穿所述臺面，且所述臺面與所述轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)子固定連接，以使得所述臺面可相對于所述轉(zhuǎn)動軸的定子轉(zhuǎn)動；?

固定連桿，兩端均卡接在一滑動軌道中，且所述固定連桿的中部還通過固定帶與所述轉(zhuǎn)動軸的定子固定連接；?

定位銷，固定設(shè)置于所述固定連桿的兩端，以用于卡接所述卡扣；?

其中，當(dāng)所述臺面相對于所述定子轉(zhuǎn)動時，所述固定帶帶動所述固定連桿運動，所述定位銷與所述固定連桿同步運動并帶動所述卡扣卡在所述卡柱上或者帶動所述卡扣從所述卡柱上松開，以閉合或開啟所述蓋子。?

優(yōu)選的，上述的工具中，還包括：?

連動軸，設(shè)置于所述固定連桿的中心，并通過所述固定帶與所述連動軸的定子連接；?

當(dāng)所述臺面相對于所述定子轉(zhuǎn)動時，所述固定帶通過所述連動軸帶動所述固定連桿運動。?

優(yōu)選的，上述的工具中，所述連動軸與所述轉(zhuǎn)動軸之間的連線垂直于所述固定連桿的長度延伸方向。?