[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201420474286.2
• 申請日: 2014-08-21
• 公開（公告）號: CN203983246U
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 陳小力;王進昌
• 申請（專利權）人: 浙江輝弘光電能源有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;B08B3/02
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 胡根良

1.一種硅片清洗裝置，包括用于放置硅片的花籃(2)、用于清洗硅片的清洗裝置(3)，其特征是：所述花籃(2)包括同軸的內圓管(21)和外圓管(22)，所述內圓管(21)的外側壁上設有外卡槽(211)，所述外圓管(22)的內側壁上設有與外卡槽(211)一一對應且與外卡槽(211)配合放置硅片的內卡槽(221)，所述內圓管(21)底部和外圓管(22)的底部之間固連有桿(23)；

所述內圓管(21)上開設有用于連通外卡槽(211)與內圓管(21)內部且與外卡槽(211)一一對應的內通槽(212)，每個外卡槽(211)頂部均與內圓管(21)的上端相通，每個外卡槽(211)的底部均不與內圓管(21)底端相通；

所述外圓管(22)上開設有用于連通內卡槽(221)與外圓管(22)外部且與內卡槽(221)一一對應的外通槽(222)，每個內卡槽(221)頂部均與外圓管(22)的上端相通，每個內卡槽(221)的底部均不與外圓管(22)的底端相通；

所述清洗裝置(3)包括設置在花籃(2)上方的圓板(31)、穿設在圓板(31)中心上且下端封閉的中心圓管(32)；中心圓管(32)外側壁上位于圓板(31)下方的部分環繞有中心圓管噴頭(34)；所述圓板(31)上設有一圈向下噴淋的圓板噴頭(33)，所述圓板噴頭(33)位于內圓管(21)和外圓管之間部分的正上方，每個圓板噴頭(33)上端均連有一個穿設在圓板(31)上的水管連接頭(35)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征是：還包括用于夾持花籃且可旋轉的三爪卡盤(1)。

3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征是：所述桿(23)有三個且均布在內圓管(21)和外圓管(22)之間。