[實用新型]X-Y二維超聲掃描顯微鏡測試管材及圓柱體樣品的裝置

有效

• 申請號: 201420470092.5
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN204008565U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 林群
• 申請（專利權）人: 科視達（上海）國際貿易有限公司;科視達（中國）有限公司
• 主分類號: G01N29/06
• 分類號: G01N29/06;G01N29/27
• 代理公司: 北京連城創新知識產權代理有限公司 11254
• 代理人: 劉伍堂

技術領域

本實用新型涉及超聲波掃描技術領域，具體地說是一種X-Y二維超聲掃描顯微鏡測試管材及圓柱體樣品的裝置。

背景技術

二維超聲波掃描顯微鏡采用高頻超聲波換能器，通過X-Y方向逐點進行采樣掃描，得到被測樣品內部的缺陷圖像，由于其分辨率可達μm級別，而且在縱向，及Z的方向，對缺陷的靈敏度達到nm級別，因此，被廣泛用于各種材料，半導體器件等微小器件的內部缺陷檢測，特別是一些有多層結構的器件內部的分層缺陷檢測，以及一些微小焊點的內部空洞檢測。

但是，由于超聲波掃描顯微鏡只能進行X-Y的二維方向的掃描，因此，只能對一些平面樣品，或者表面比較平整的樣品進行掃描，對于一些曲率比較大，比如管材和圓柱體的樣品則無法進行內部缺陷檢測。

在無損探傷領域對于一些管材和圓柱體的內部缺陷超聲波探傷，只能采用多探頭陣列的形式，以及將多個探頭環繞圓柱體樣品外表面對內部缺陷進行檢測，但由于探頭本身的外形尺寸限制，這些探頭陣列的檢測方法分辨率比較差，只能達到mm級別的測試分辨率。

發明內容

本實用新型為克服現有技術的不足，提供一種用于超聲波掃描的圓周檢測裝置，采用轉動旋轉機構，使得樣品穩定的旋轉，對于不同直徑尺寸的管材和圓柱體都可以進行掃描，具有通用性和操作的簡便性保持了原有超聲掃描顯微鏡的高分辨率性能，可以達到微米級別的分辨率。

為實現上述目的，設計一種X-Y二維超聲掃描顯微鏡測試管材及圓柱體樣品的裝置，包括底座、基座、水槽、固定模塊、定位模塊、換能器，其特征在于：底座的上方連接設有水槽，位于水槽左右兩側的底座上分別設有基座；位于水槽內部的左右兩側分別設有齒條，位于齒條的上方設有圓軸檢具總成，圓軸檢具總成的上方連接設有固定模塊，位于固定模塊的前方連接設有定位模塊，位于定位模塊的前方通過換能器安裝塊連接換能器。

所述的圓軸檢具總成包括托架、齒輪、托架座板、輥軸，托架呈“C”字型，所述的托架設有兩個，并且左右兩側的托架分別位于左右兩側的齒條的上方；左右兩側的托架的一端通過兩根輥軸連接，左右兩側的托架的另一端為平面，并且左右兩側的托架的另一端通過托架座板連接，托架座板的上方設有固定模塊。

所述的兩根輥軸的兩端分別通過軸承連接齒輪，并且齒輪與齒輪下方的齒條相配合。

所述的換能器的下端位于兩根輥軸之間的上方。

所述的水槽為有機玻璃水槽。

所述的齒輪為同步齒輪。

所述的齒條為同步齒條。

所述的換能器為超聲波換能器。

本實用新型同現有技術相比，提供一種用于超聲波掃描的圓周檢測裝置，將原來的X-Y方向掃描的二維超聲波掃描顯微鏡的Y軸轉化為可以旋轉運動的方向，從而使得原來X-Y方向的掃描轉換成X-R方向的掃描運動，R即代表旋轉運動。

采用轉動旋轉機構，使得樣品穩定的旋轉，對于不同直徑尺寸的管材和圓柱體都可以進行掃描，具有通用性和操作的簡便性保持了原有超聲掃描顯微鏡的高分辨率性能，可以達到微米級別的分辨率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為圓軸檢具總成的結構示意圖。

參見圖1，1為底座，2為水槽，3為齒條，4為固定模塊，5為定位模塊，6為換能器，7為換能器安裝塊，8為基座，9為圓軸檢具總成，10為檢測樣品。

參見圖2，9-1為托架座板，9-2為托架，9-3為齒輪，9-4為輥軸。

具體實施方式

下面根據附圖對本實用新型做進一步的說明。

如圖1所示，底座1的上方連接設有水槽2，位于水槽2左右兩側的底座1上分別設有基座8；位于水槽2內部的左右兩側分別設有齒條3，位于齒條3的上方設有圓軸檢具總成9，圓軸檢具總成9的上方連接設有固定模塊4，位于固定模塊4的前方連接設有定位模塊5，位于定位模塊5的前方通過換能器安裝塊7連接換能器6。

如圖2所示，圓軸檢具總成9包括托架、齒輪、托架座板、輥軸，托架9-2呈“C”字型，所述的托架9-2設有兩個，并且左右兩側的托架9-2分別位于左右兩側的齒條3的上方；左右兩側的托架9-2的一端通過兩根輥軸9-4連接，左右兩側的托架9-2的另一端為平面，并且左右兩側的托架9-2的另一端通過托架座板9-1連接，托架座板9-1的上方設有固定模塊4。

兩根輥軸9-4的兩端分別通過軸承連接齒輪9-3，并且齒輪9-3與齒輪9-3下方的齒條3相配合。

換能器6的下端位于兩根輥軸9-4之間的上方。

水槽2為有機玻璃水槽。