[實用新型]激光劃片定位裝置

有效

• 申請號: 201420467682.2
• 申請日: 2014-08-18
• 公開（公告）號: CN204094318U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 鄒武兵;張德安;段家露;曾波;余猛
• 申請（專利權）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/08;B23K26/70;H01L21/68
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

1.激光劃片定位裝置，用于對晶圓進行切割，其特征在于：包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝設于所述裝置本體上的用于對所述晶圓的切割位置進行檢測的CCD檢測結構、裝設于所述裝置本體上并與所述CCD檢測結構相配合的線性運動機構，所述線性運動機構可相對于所述裝置本體沿X、Y軸來回移動，所述線性運動機構包括裝設于所述裝置本體上的X軸移動結構、裝設于所述X軸移動結構上的Y軸移動結構、裝設于所述Y軸移動結構上的真空吸附結構，所述真空吸附結構包括用于對所述晶圓進行吸平的真空陶瓷吸盤，所述真空陶瓷吸盤可相對于所述裝置本體做圓周轉動，所述X軸移動結構包括X軸平臺及用于驅動所述X軸平臺沿X軸移動的第一直線電機，所述Y軸移動結構包括Y軸平臺及用于驅動所述Y軸平臺沿Y軸移動的第二直線電機、所述控制組件分別與所述第一直線電機及所述第二直線電機電性連接。?

2.根據權利要求1所述的激光劃片定位裝置，其特征在于：所述CCD檢測結構包括裝設于所述裝置本體上的第一CCD攝像頭、第二CCD攝像頭，裝設于所述第一CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓切割點更加清晰的第一光源，裝設于所述第二CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓切割點更加清晰的第二光源。?

3.根據權利要求1所述的激光劃片定位裝置，其特征在于：所述X軸移動結構還包括裝設于所述第一直線電機上的用于確定所述真空吸盤的運動位置的第一光柵尺，所述Y軸移動結構還包括裝設于所述第二直線電機上的用于確定真空吸盤的運動位置的第二光柵尺。?

4.根據權利要求1所述的激光劃片定位裝置，其特征在于：所述真空吸附結構還包括容置于所述裝置本體內部并與所述真空陶瓷吸盤連接在一起的真空發生器。?

5.根據權利要求1所述的激光劃片定位裝置，其特征在于：所述控制組件包括：顯示模塊，用于將所述的激光劃片定位裝置的性能參數通過界面顯示；和/或按鍵模塊，用于操縱激光劃片定位裝置進行工作。?