[實用新型]一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置

有效

• 申請號: 201420458897.8
• 申請日: 2014-08-14
• 公開（公告）號: CN204262587U
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 盧冬青
• 申請（專利權）人: 上海功源自動化技術有限公司
• 主分類號: B23K26/03
• 分類號: B23K26/03;B23K26/042;B23K26/362
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，該裝置包括晶圓、激光、激光保護板和底光、對中臺、校正玻璃板、十字薄膜、相機保護板、工業相機、電腦顯示屏、ROBOT搬運手，其中校正玻璃板正面貼黑色即時貼，中間開窗標示涂黑位置，手工在底面45度涂滿單層黑色，十字薄膜為打印有十字對中線的薄膜，其特征是：工業相機安裝在對中臺上方，激光安裝在對中臺下方，激光保護板和底光安裝在激光和對中臺之間，相機保護板安裝在工業相機和對中臺之間，ROBOT搬運手安裝在對中臺前方，電腦顯示屏放置在對中臺外側，十字薄膜粘貼在電腦顯示屏上，晶圓和校正玻璃板分別放置在對中臺上。

2.根據權利要求書1所述的一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，其特征是：激光在校正玻璃板的涂黑上刻劃十字，工業相機捕捉該十字的圖像，計算工業相機與激光之間的系統偏差，輸送給激光，自動校正激光圖像與相機安裝的系統偏差。

3.根據權利要求書1所述的一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，其特征是：目測電腦屏幕，檢查十字薄膜上的十字和校正玻璃板背刻的圖像這兩個十字的重合情況，直觀的觀測補償的效果。