[實用新型]一種長壽命磁控濺射靶材

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420452183.6
• 申請日: 2014-08-12
• 公開（公告）號: CN204097558U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅俊鋒;劉書芹;萬小勇;董亭義;何金江;于海洋;劉冬青;呂保國
• 申請（專利權(quán)）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 劉秀青;熊國裕

1.一種長壽命磁控濺射靶材，包括濺射面和冷卻面，其特征在于，所述濺射面的濺射區(qū)域在靶材原濺射區(qū)的基礎(chǔ)上增厚2mm以內(nèi)，增厚部分的面積小于靶材原濺射區(qū)域，且增厚部分的邊緣與靶材原濺射區(qū)域之間呈臺階狀或斜坡狀。

2.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述靶材原濺射區(qū)的厚度為5.8～6.2mm。

3.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述增厚部分大于靶材實際濺射區(qū)域。

4.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述增厚部分距離長邊3～5mm。

5.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述增厚部分的寬度為117～121mm。

6.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述增厚部分距離寬邊5～7mm。

7.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述增厚部分的長度為367～371mm。

8.如權(quán)利要求1所述的長壽命磁控濺射靶材，其特征在于，所述靶材為單體靶或焊接型靶。